[发明专利]加工装置

说明书

本发明提供加工装置，减少将被加工物搬送至卡盘工作台时换持被加工物的次数。根据中心坐标识别单元所识别的晶片(100)的中心坐标，按照使机器人(155)所保持的晶片(100)的中心(201)与卡盘工作台(30)的保持面(32)的中心(203)一致的方式将晶片(100)保持于保持面(32)上。由此，能够不使用暂放工作台而将晶片(100)适当地保持于保持面(32)上。因此，与不使用暂放工作台相对应地减少换持晶片(100)的次数，因此能够减少晶片(100)的污染和破损的风险，并且能够降低将晶片(100)保持于保持面(32)所花费的时间。

技术领域

本发明涉及加工装置。

背景技术

在专利文献1和专利文献2所公开的全自动磨削装置中，利用磨削磨具对卡盘工作台所吸引保持的被加工物进行磨削。

在全自动磨削装置中，通过机器人将收纳于盒的被加工物搬送至暂放工作台而暂放。使用搬入单元的搬送垫对暂放于暂放工作台的被加工物进行保持而搬送至卡盘工作台。利用磨削磨具对卡盘工作台所吸引保持的被加工物进行磨削。另外，通过搬出单元的搬送垫对磨削后的被加工物进行保持，从卡盘工作台搬送至旋转清洗单元。通过机器人将通过旋转清洗单元进行了清洗的被加工物收纳于盒中。由此，结束磨削加工。

专利文献1：日本特开2018-027594号公报

专利文献2：日本特开2019-084646号公报

在以往的全自动磨削装置中，如上述那样利用暂放工作台换持被加工物，因此产生换持时间。另外，由于换持被加工物，被加工物和暂放工作台接触，因此有时会在被加工物上附着灰尘、或使被加工物破损。

发明内容

因此，本发明的目的在于，减少将被加工物从盒搬送至卡盘工作台时换持被加工物的次数，从而抑制灰尘附着于被加工物并抑制被加工物的破损。

本发明的加工装置(本加工装置)具有：盒，其具有沿上下方向配置的多个搁板；盒载台，其载置该盒；卡盘工作台，其通过保持面对被加工物进行保持；搬送单元，其对收纳于该盒的被加工物进行保持并将被加工物从该盒搬送至该卡盘工作台；以及加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工，其中，该加工装置还具有：拍摄单元，其对该搬送单元所保持的被加工物进行拍摄；中心坐标识别单元，其根据该拍摄单元进行拍摄而获取的拍摄图像来识别被加工物的中心坐标；以及控制单元，其根据该中心坐标识别单元所识别的该中心坐标而控制该搬送单元，按照使该搬送单元所保持的被加工物的中心与该卡盘工作台的该保持面的中心一致的方式将被加工物保持于该保持面上。

另外，在本加工装置中，该搬送单元可以具有：机器人，其安装有对收纳于该盒的被加工物进行保持的机器人手臂；以及搬入机构，其接受该机器人手臂所保持的被加工物并搬入至该卡盘工作台的该保持面上，该拍摄单元对该机器人手臂所保持的被加工物进行拍摄，该控制单元根据该中心坐标识别单元所识别的该中心坐标而通过该搬入机构将被加工物按照使该保持面的中心与被加工物的中心一致的方式保持于该保持面上。

另外，在本加工装置中，被加工物可以具有作为表示晶体取向的标记的切口或定向平面，该保持面具有转印被加工物而得的形状，具有与该标记对应的标记对应部，该加工装置还具有：标记识别单元，其根据该拍摄单元进行拍摄而得到的该拍摄图像来识别该标记的位置；旋转单元，其使该卡盘工作台以该保持面的中心为轴而旋转；以及标记对位控制单元，其控制该旋转单元以便使该保持面的该标记对应部与该搬送单元所保持的被加工物的该标记一致。

在本加工装置中，控制单元根据中心坐标识别单元所识别的被加工物的中心坐标而控制搬送单元，按照使搬送单元所保持的被加工物的中心与卡盘工作台的保持面的中心一致的方式将被加工物保持于保持面上。这样，在本加工装置中，能够不使用暂放工作台而将被加工物适当地保持于保持面上。因此，与不使用暂放工作台相对应地，减少换持被加工物的次数，因此能够减少在被加工物上附着灰尘而污染、或使被加工物破损的风险。另外，能够降低将被加工物从盒取出并载置于保持面的时间。