[发明专利]一种开方机加工精度评价方法

权利要求书

1.一种开方机加工精度评价方法，其特征在于，在开方后硅棒上的每个面至少沿宽度方向取3个测点，沿长度方向至少取3个测点，共计至少9个测点，分别测量评价开方后硅棒的对称面极差、各平面的最大直线度偏差或最大平面度偏差、截面形状、长度方向形状以及轮廓形状中的一种或多种；

所述最大直线度偏差测量方法为：

选取沿长度方向至少3个测点的连线为测量直线，并测量其直线度；

选取每一面直线度的最大值作为最大直线度；

计算前后面或上下面的最大直线度之和即为前后面或上下面的最大直线度偏差；

所述最大平面度偏差测量方法为：

测量每个面每个测点尺寸并计算平面度；

计算前后面或上下面的平面度之和即为前后面或上下面的最大平面度偏差。

2.根据权利要求1所述的一种开方机加工精度评价方法，其特征在于，所述对称面极差包括前后面极差和上下面极差，所述对称面极差的测量方法为：

计算每个测点前后面或上下面之间的厚度；

统计所有前后面或上下面的厚度最大值和最小值；

计算前后面或上下面厚度最大值和最小值的差值即为前后面极差或上下面极差。

3.根据权利要求1所述的一种开方机加工精度评价方法，其特征在于，所述截面形状的测量方法为：

测量开方后硅棒的首尾两端每一面测点的误差；

基于每一面测点的误差分别绘制首尾两端正方形或矩形截面的误差曲线；

将首尾两端的误差曲线叠加到一个基准正方形上，得到截面形状。

4.根据权利要求1所述的一种开方机加工精度评价方法，其特征在于，所述长度方向形状的测量方法为：

计算每一面沿长度方向的中间测点的误差；

基于中间测点的误差，叠加到预切割硅棒的标准矩形内，获得前后面或上下面沿长度方向形状。

5.根据权利要求1所述的一种开方机加工精度评价方法，其特征在于，所述轮廓形状的测量方法为：

计算每一面测点的误差；

基于每一面测点的误差，绘制每一面的轮廓误差曲面；

基于每一面的轮廓误差曲面，绘制前后面或上下面的轮廓形状。