[发明专利]一种开方机加工精度评价方法

说明书

本发明公开一种开方机加工精度评价方法，包括分别测量评价开方后硅棒的对称面极差、各平面的最大直线度偏差或最大平面度偏差、截面形状、长度方向形状以及轮廓形状中的一种或多种。通过直线度或平面度两种机制，对被测点采取相同的测量流程来测量尺寸精度，再经过不同的处理手段，获得更加准确的切割面信息，相比原有的极差方法反映加工表面的依据更加全面；通过选取特定测点，实现对截面整体形状的把控，流程简单易操作；本方法精度要求高，有利于把控产品的成品质量；本方法通过统计分析加工误差分布的大致位置，有助于获得调整误差分布相关信息，提高成品合格率；可通过本方法将误差分布作为后期修改工艺的依据，提升产品质量。

技术领域

本发明属于开方机加工工艺技术领域，具体地说涉及一种开方机加工精度评价方法。

背景技术

为了尽可能简单快速评价开方加工精度，现阶段对硅棒开方后精度的评价方法主要是极差方法。极差的定义是硅棒毛坯在开方后测量相对面上的各相对位置点厚度，如前后面或上下面，统计各测点位置厚度的最大值和最小值，并计算最大值和最小值的差值即为极差。现行极差方法反映加工精度的指标不全面，测量数据与实际精度相比偏小。例如，硅棒开方获得的加工型面存在一种情况：各位置对称面上的误差分布规律相同，一种可能是加工形状完美，各位置没有较大精度偏差，如图1所示；另一种可能是各位置的对称面都向同一方向变形，如图2所示，这种情况下测得的极差反映效果较好，但是零件型面合格率不高，无法真实反映开方机的加工质量，不利于改善开方产品的成品质量。

因此，现有技术还有待于进一步发展和改进。

发明内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种开方机加工精度评价方法。本发明提供如下技术方案：

一种开方机加工精度评价方法，包括分别测量评价开方后硅棒的对称面极差、各平面的最大直线度偏差或最大平面度偏差、截面形状、长度方向形状以及轮廓形状中的一种或多种。

进一步的，所述测量评价的方法包括：在开方后硅棒上的每个面至少沿宽度方向取3个测点，沿长度方向至少取3个测点，即共计至少9个测点。

进一步的，所述对称面极差包括前后面极差和上下面极差，所述对称面极差的测量方法为：

计算每个测点前后面或上下面之间的厚度；

统计所有前后面或上下面的厚度最大值和最小值；

计算前后面或上下面厚度最大值和最小值的差值即为前后面极差或上下面极差。

进一步的，所述最大直线度偏差测量方法为：

选取沿长度方向至少3个测点的连线为测量直线，并测量其直线度；

选取每一面直线度的最大值作为最大直线度；

计算前后面或上下面的最大直线度之和即为前后面或上下面的最大直线度偏差。

进一步的，所述最大平面度偏差测量方法为：

测量每个面每个测点尺寸并计算平面度；

计算前后面或上下面的平面度之和即为前后面或上下面的最大平面度偏差。

进一步的，所述截面形状的测量方法为：

测量开方后硅棒的首尾两端每一面测点的误差；

基于每一面测点的误差分别绘制首尾两端正方形或矩形截面的误差曲线；

将首尾两端的误差曲线叠加到一个基准正方形上，得到截面形状。

进一步的，所述长度方向形状的测量方法为：

计算每一面沿长度方向的中间测点的误差；