[发明专利]用于稳定反应室压力的系统和方法

权利要求书

1.一种反应器系统，其包括：

第一气体源；

第一气体供应路径，所述第一气体供应路径流体联接到所述第一气体源；

第二气体源；

第二气体供应路径，所述第二气体供应路径流体联接到所述第二气体源；

反应室，所述反应室流体联接到所述第一气体供应路径和所述第二气体供应路径，其中所述第一气体供应路径在第一气体供应路径端部处流体联接到所述反应室，并且所述第二气体供应路径在第二气体供应路径端部处流体联接到所述反应室，

其中第一气体从所述第一气体源供应到所述反应室，并且第二气体从所述第二气体源供应到所述反应室以实现反应室压力的稳定性；

排气管线，所述排气管线流体联接至所述反应室并且位于所述反应室下游；

通风管线，所述通风管线流体联接到所述第一气体供应路径和所述第二气体供应路径中的至少一者，并且流体联接到所述排气管线，其中所述通风管线旁路所述反应室；

联接到所述通风管线的压力监测器，所述压力监测器配置成监测所述通风管线内的通风管线压力；以及

联接到所述通风管线的通风管线传导控制阀，其中所述通风管线传导控制阀配置成响应于来自所述压力监测器的反馈而进行调节。

2.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述反应室经由腔室入口路径流体联接到所述第一气体供应路径和所述第二气体供应路径，其中所述第一气体供应路径在所述第一气体供应路径端部处流体联接到所述腔室入口路径，并且所述第二气体供应路径在所述第二气体供应路径端部处流体联接到所述腔室入口路径。

3.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述第一气体供应路径包括第一气体主管线和第一气体分支管线，其中所述第一气体主管线与所述反应室流体连通，并且其中所述第一气体分支管线与所述通风管线流体连通。

4.根据权利要求3所述的反应器系统，其中所述第二气体供应路径包括第二气体主管线和第二气体分支管线，其中所述第二气体主管线与所述反应室流体连通，并且其中所述第二气体分支管线与所述通风管线流体连通。

5.根据权利要求4所述的反应器系统，其中所述第一气体主管线包括第一主管线阀，所述第一主管线阀设置在所述反应室上游和所述第一气体分支管线下游，其中所述第一气体分支管线包括第一分支管线阀，

其中所述第二气体主管线包括第二主管线阀，所述第二主管线阀设置在所述反应室上游和所述第二气体分支管线下游，其中所述第二气体分支管线包括第二分支管线阀，其中所述第一主管线阀、所述第二主管线阀、所述第一分支管线阀和所述第二分支管线阀配置成至少部分地增大或减小分别通过所述第一气体主管线、所述第二气体主管线、所述第一气体分支管线和所述第二气体分支管线的气流。

6.根据权利要求4所述的反应器系统，其还包括：

处理器，所述处理器与所述压力监测器和所述通风管线传导控制阀电子通信；以及

有形非暂时性存储器，所述有形非暂时性存储器配置成与所述处理器通信，所述有形非暂时性存储器具有存储在其上的指令，所述指令响应于由所述处理器的执行而使所述处理器执行包括以下各项的操作：

由所述压力监测器监测所述通风管线内的通风管线压力；

由所述处理器检测所述通风管线压力的变化；以及

由所述处理器响应于检测到所述通风管线压力的变化而命令调节所述通风管线传导控制阀，以使所述通风管线传导控制阀的阀位置打开更多或关闭更多。

7.根据权利要求6所述的反应器系统，其中检测所述通风管线压力的变化包括检测所述通风管线压力和所述反应室中的反应室压力之间的差异，并且其中通过所述通风管线传导控制阀的所述调节配置成使所述通风管线压力和所述反应室压力差异较小。