[发明专利]一种具有混镀的高效真空电镀装置有效

专利信息
申请号: 202110043156.8 申请日: 2021-01-13
公开(公告)号: CN112877646B 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 林惠娟;李平;黎应伦;李法坤;董永全 申请(专利权)人: 嘉讯科技(深圳)有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/54
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 高效 真空 电镀 装置
【权利要求书】:

1.一种具有混镀的高效真空电镀装置,包括机架(1),所述机架(1)上设置有真空罩(2),所述真空罩(2)内设置有电镀架(32)以及蒸发器(31),其特征在于:所述机架(1)上还设置有为蒸发器(31)输送电镀材料的送料装置,所述送料装置包括送料管(4)以及送料机构(5),所述送料管(4)安装在机架(1)上,所述送料机构(5)包括筛选器(6)以及频率控制器(8),所述筛选器(6)以及频率控制器(8)均安装在机架(1)上,所述频率控制器(8)包括转动盘(82)以及安装在机架(1)上用于驱动转动盘(82)转动的驱动件(83),所述转动盘(82)上开设有存料孔(821),所述存料孔(821)与送料管(4)配合,所述送料管(4)延伸至蒸发器(31)内;

所述转动盘(82)上套设有壳体(81),所述壳体(81)置于转动盘(82)两侧分别开设有进料孔(813)以及落料孔(814),所述落料孔(814)以及进料孔(813)均与存料孔(821)配合,所述送料管(4)与落料孔(814)联通;

所述进料孔(813)孔径小于或等于存料孔(821)孔径,所述存料孔(821)设置成锥形孔,且其靠近落料孔(814)一侧的孔径大于靠近进料孔(813)孔径,所述落料孔(814)孔径大于存料孔(821)的孔径,且落料孔(814)倾斜设置;

所述转动盘(82)的厚度大于电镀材料直径且小于电镀材料两倍直径,并且所述落料孔(814)与进料孔(813)错位设置。

2.根据权利要求1所述的具有混镀的高效真空电镀装置,其特征在于:所述筛选器(6)包括进料盘(61)、选料盘(62)以及安装在选料盘(62)内的转动架(63),所述机架(1)上设置有转动件(632),所述转动件(632)驱动转动架(63)转动,所述进料盘(61)以及选料盘(62)均固定在机架(1)上,所述进料盘(61)置于选料盘(62)上方,所述选料盘(62)上开设有选料孔(621),且选料盘(62)下方设置有排料管(7),所述排料管(7)与选料孔(621)联通。

3.根据权利要求2所述的具有混镀的高效真空电镀装置,其特征在于:所述转动架(63)上设置有转动叶片(631),所述转动叶片(631)上设置有凹陷部(633),所述凹陷部(633)位置与选料孔(621)对应设置。

4.根据权利要求2所述的具有混镀的高效真空电镀装置,其特征在于:所述进料盘(61)包括进料斗(611)以及进料分斗(612),所述进料分斗(612)设置在进料斗(611)靠近选料盘(62)的一侧,所述进料分斗(612)上设置有下料控制器(613)。

5.根据权利要求4所述的具有混镀的高效真空电镀装置,其特征在于:所述下料控制器(613)包括下料管(614)以及安装在下料管(614)上的下料叶轮(615),所述下料管(614)上设置有控制件(617),所述控制件(617)驱动下料叶轮(615)转动。

6.根据权利要求5所述的具有混镀的高效真空电镀装置,其特征在于:还包括控制模块(9),所述控制件(617)、转动件(632)以及驱动件(83)均与控制模块(9)连接。

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