[发明专利]晶圆级封装密封用电路积层膜、其制备方法及应用有效
申请号: | 202110052151.1 | 申请日: | 2021-01-15 |
公开(公告)号: | CN112375340B | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 伍得;廖述杭;王义;苏峻兴;梁飞飞 | 申请(专利权)人: | 武汉市三选科技有限公司 |
主分类号: | C08L63/02 | 分类号: | C08L63/02;C08L63/00;C08K3/36;C08K5/5435;C08J5/18;H01L23/29;H01L21/56 |
代理公司: | 武汉华强专利代理事务所(普通合伙) 42237 | 代理人: | 温珊姗 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术开*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶圆级 封装 密封 用电 路积层膜 制备 方法 应用 | ||
1.晶圆级封装密封用电路积层膜,其特征是,包括如下成分:
所述第一类环氧树脂为双酚A环氧树脂、双酚F环氧树脂、联苯环氧树脂中的一种或多种;
所述第二类环氧树脂为萘型环氧树脂、双环戊二烯型苯酚环氧树脂中的一种或两种;
所述助剂由双酚A环氧树脂或双酚F环氧树脂与末端含多羟基的树枝状交联剂于100℃~160℃温度反应2~4小时获得,其中树枝状交联剂用量为环氧树脂的1%~5%;
所述末端含多羟基的树枝状交联剂为端羟基聚酰胺-胺树枝状聚合物。
2.如权利要求1所述的晶圆级封装密封用电路积层膜,其特征是:
当第二类环氧树脂为萘型环氧树脂、双环戊二烯型苯酚环氧树脂中的两种时,萘型环氧树脂的用量为5~10质量份,双环戊二烯型苯酚环氧树脂的用量为15~25质量份。
3.如权利要求1所述的晶圆级封装密封用电路积层膜,其特征是:
所述固化剂采用胺类、硫醇类、酸酐类、酚醛树脂类固化剂中的一种或多种。
4.如权利要求1所述的晶圆级封装密封用电路积层膜,其特征是:
所述固化促进剂采用咪唑固化促进剂。
5.如权利要求1所述的晶圆级封装密封用电路积层膜,其特征是:
所述无机填料采用二氧化硅。
6.如权利要求1所述的晶圆级封装密封用电路积层膜,其特征是:
所述硅烷偶联剂采用γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷。
7.如权利要求1所述的晶圆级封装密封用电路积层膜,其特征是:
还包括0.1~5质量份的着色剂。
8.如权利要求1~6中任一项所述晶圆级封装密封用电路积层膜的制备方法,其特征是:
按比例混合第一类环氧树脂、第二类环氧树脂、固化剂、固化促进剂、助剂、无机填料、硅烷偶联剂;将混合物浆料涂覆于基膜上,并烘干。
9.如权利要求1~7中任一项所述晶圆级封装密封用电路积层膜的应用,其特征是:
将所述电路积层膜覆盖于半导体安装结构体的晶圆上,经加热固化即实现对半导体安装结构体的填充和封装;所述半导体安装结构体包括基板以及配置于基板上的多个晶圆。
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