[发明专利]金属掩膜板及其使用方法

权利要求书

1.一种金属掩膜板，其特征在于，包括金属框架以及固定于所述金属框架上的掩膜网板，所述掩膜网板在背向蒸镀源的一侧设置有凹槽，所述凹槽内设置有光致变形层，所述光致变形层光照形变后沿所述凹槽开口朝向突出。

2.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述光致变形层的材料为三苯基甲烷衍生物、肉桂酸-丙烯酯类共聚物和偶氮苯类化合物中的一种以上材料。

3.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜网板包括透过区和围绕所述透过区设置的遮挡区，所述凹槽设置在遮挡区中。

4.根据权利要求3所述的金属掩膜板，其特征在于，所述凹槽具有二维图形以构成围合区域，所述围合区域内至少有一行或列所述透过区，相邻的两个所述透过区之间设置有分支凹槽，所述分支凹槽与所述围合区域相连以构成子区域。

5.根据权利要求4所述的金属掩膜板，其特征在于，所述光致变形层包括主干部和搭接在所述主干部上的分支部，所述主干部设置在所述围合区域内，所述分支部设置在所述分支凹槽内，且所述分支部至少一端延伸至所述围合区域外。

6.根据权利要求5所述的金属掩膜板，其特征在于，所述主干部为环形，所述分支部为直线形或曲线形，且所述主干部的线宽大于所述分支部的线宽。

7.根据权利要求4所述的金属掩膜板，其特征在于，相邻的两个所述透过区之间至少设置有两条平行的分支凹槽，其中一条所述分支凹槽延伸出所述围合区域一侧，另一条所述分支凹槽延伸出所述围合区域的另一侧。

8.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜网板为SUS不锈钢630、SUS不锈钢431、SUS不锈钢303或SUS不锈钢304中的一种不锈钢，所述掩膜网板的厚度为100um至200um，所述凹槽的深度10um至50um。

9.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述金属掩膜板还包括位于所述光致变形层上方的蓝光光源或紫外光源，所述蓝光光源或所述紫外光源为所述光致变形层提供光照，其中，所述蓝光光源的波长为380nm至460nm范围内，所述紫外光源的波长为172nm至190nm范围内。

10.一种金属掩膜板的使用方法，其特征在于，所述方法包括：

步骤S10，提供如权利要求1至9中任一所述的金属掩膜板和待蒸镀基板；

步骤S20，将所述待蒸镀基板的蒸镀侧与所述金属掩膜板贴合设置，向所述待蒸镀基板上喷射第一蒸镀材料以形成第一材料图案层；

步骤S30，对所述金属掩膜板中的光致变形层进行光照处理，以使所述金属掩膜板中的掩膜网板与所述待蒸镀基板产生预设间隙；

步骤S40，继续向所述待蒸镀基板上喷射第二蒸镀材料以形成第二材料图案层，所述第二材料图案层覆盖所述第一材料图案层。