[发明专利]一种银胶填充导通孔的转印工艺方法在审
申请号: | 202110059711.6 | 申请日: | 2021-01-18 |
公开(公告)号: | CN112820695A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 张云青;李磊;史承春 | 申请(专利权)人: | 昆山联滔电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768;B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26;B05D3/02;B41M1/26 |
代理公司: | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人: | 胡强 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 填充 导通孔 工艺 方法 | ||
1.一种银胶填充导通孔的转印工艺方法,其特征在于,所述银胶填充导通孔的转印工艺方法包括如下步骤:
S1,首先将过孔银浆填入过孔中;
S2,随后转印内侧图案;
S3,随后再转印正面图案。
2.根据权利要求1所述的一种银胶填充导通孔的转印工艺方法,其特征在于:在S1中,所述过孔银浆的粘度为2500-2800cp,所述过孔银浆中添加有胺类固化剂或氰类固化剂。
3.根据权利要求1所述的一种银胶填充导通孔的转印工艺方法,其特征在于:在S2中,通过自动点胶机将过孔银浆填入过孔中,所述自动点胶机的针头为内径0.21mm-0.41mm的点胶针头。
4.根据权利要求1所述的一种银胶填充导通孔的转印工艺方法,其特征在于:在S2中,所述自动点胶机的气压为0.35-0.5Mpa,并且采用一次出胶操作和两次下压操作。
5.根据权利要求3所述的一种银胶填充导通孔的转印工艺方法,其特征在于:所述自动点胶机点胶完成后,将产品静置30分钟-60分钟,随后再将所述产品以80度~100度温度烘烤60分钟~120分钟。
6.根据权利要求3所述的一种银胶填充导通孔的转印工艺方法,其特征在于:所述点胶针头通过螺栓固定安装在自动点胶机的输出端,所述点胶针头为圆柱体结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造