[发明专利]双面晶圆成像装置及其方法

权利要求书

1.一种双面晶圆成像装置，包括：

一或多个装载端，用于一自动搬运装置的一晶圆盒的一自动装载操作或是卸载操作；

一或多个机械手臂，用于搬运一晶圆；

一晶圆传输载台，包括三或多个真空吸点，是接触该晶圆的一背面，该晶圆传输载台还包括一驱动马达，是产生一线性来回移动，以移动该晶圆；

一第一线扫描相机，安装在该晶圆传输载台的下方；

一第二线扫描相机，安装在该晶圆传输载台的上方；

一第一光学镜片，安装在该第一线扫描相机上；

一第二光学镜片，安装在该第二线扫描相机上；以及

二或多个线光源，分别安装在该晶圆传输载台的下方及上方。

2.如权利要求1所述的双面晶圆成像装置，其中，该二或多个线光源输出一黄光或一白光。

3.如权利要求1所述的双面晶圆成像装置，还包括一或多个晶圆对准器，用于调整该晶圆的一位置及一转动角度、返回该晶圆到一原点以及读取一标签。

4.如权利要求1所述的双面晶圆成像装置，还包括一空气注入元件，包括一第一喷嘴，是对准该第一线扫描相机的该第一光学镜片。

5.如权利要求4所述的双面晶圆成像装置，其中，该空气注入元件还包括一第二喷嘴，是对准该第二线扫描相机的该第二光学镜片。

6.如权利要求5所述的双面晶圆成像装置，其中，该空气注入元件注入一气流，以避免多个粒子粘贴到该第一光学镜片以及该第二光学镜片。

7.如权利要求6所述的双面晶圆成像装置，其中，当该晶圆尚未通过该双面晶圆成像装置进行成像时，则该空气注入元件注入该气流。

8.一种晶圆的双面成像的方法，包括：

撷取该晶圆的一双面影像，其中当该晶圆通过晶圆传输载台在一往外行程进行搬运时，分别安装在该晶圆传输载台的下方及上方的一第一线扫描相机以及一第二线扫描相机，是分别截取该晶圆的该双面影像的一第一背面晶圆影像以及一前面晶圆影像；

转动该晶圆一预定角度，其中当该晶圆达到该往外行程的一端点时，则位在该晶圆的下方的一晶圆对准器是沿着一垂直方向上升，以拿取该晶圆、转动该晶圆该预定角度以及返回该晶圆到该晶圆传输载台；

当该晶圆通过该晶圆传输载台在一返回行程进行搬运时，则撷取一第二背面晶圆影像，位在该晶圆传输载台的下方的该第一线扫描相机是撷取该第二背面晶圆影像；以及

执行一影像处理操作，其中被在该第一背面晶圆影像中的一或多个接触点所占据的一或多个区域，是以该第二背面晶圆影像取代该第一背面晶圆影像，而得到一个实质上完全无遮蔽的晶圆背面影像。

9.如权利要求8所述的方法，其中，该二或多个线光源是分别安装在该晶圆传输载台的下方及上方，而该二或多个线光源输出一黄光或一白光。

10.如权利要求8所述的方法，其中，一空气注入元件包括一第一喷嘴，是对准该第一线扫描相机的一第一光学镜片。

11.如权利要求10所述的方法，其中，该空气注入元件还包括一第二喷嘴，是对准该第二线扫描相机的一第二光学镜片。

12.如权利要求11所述的方法，其中，该空气注入元件注入一气流，以避免多个粒子粘贴到该第一光学镜片以及该第二光学镜片。

13.如权利要求12所述的方法，其中，当该晶圆尚未进行成像时，该空气注入元件注入该气流。