[发明专利]一种可防止显影液背流的显影装置

权利要求书

1.一种可防止显影液背流的显影装置，其特征在于：包括真空吸头（1）、挡板（2）、引流结构（3）、负压管（4）、护圈导轨（5）、护圈（6）、推杆（7）、距离传感器（8）、晶圆（9）；所述真空吸头（1）安装在电机轴上，电机轴和对应电机固定在底座上方；所述挡板（2）固定在底座上方；所述引流结构（3）安装在挡板（2）上表面；所述负压管（4）前端与引流结构（3）中段连接，后端与挡板（2）上方开孔处连接；所述护圈导轨（5）安装在挡板（2）顶端凹槽内；所述护圈（6）与护圈导轨（5）的上表面连接，下端轻触挡板（2）顶部外侧；所述推杆（7）设置在引流结构（3）所对应圆周的外侧；所述距离传感器（8）位于晶圆（9）的上方，并固定在顶盖上。

2.根据权利要求1所述的一种可防止显影液背流的显影装置，其特征在于：所述真空吸头（1）低于晶圆（9）的下表面，与晶圆（9）之间形成空气负压层，在通常情况下不直接接触。

3.根据权利要求1所述的一种可防止显影液背流的显影装置，其特征在于：所述引流结构（3）共有4组，沿圆周方向均匀分布，组成部分包括导流头（31）、支撑部（32）、导管（33）和储液槽（34）。

4.根据权利要求3所述的一种可防止显影液背流的显影装置，其特征在于：所述导流头（31）水平位置高于晶圆（9）下表面；所述支撑部（32）固定在挡板（2）上表面；所述储液槽（34）与导管（33）末端相连，放置在底座平台上。

5.根据权利要求1所述的一种可防止显影液背流的显影装置，其特征在于：所述负压管（4）的前端有一小段竖直向上的弯管，弯管底部不高于负压管（4）的后端高度。

6.根据权利要求1所述的一种可防止显影液背流的显影装置，其特征在于：所述护圈导轨（5）由护圈盖（51）、滚珠圆盘（52）和护圈底座（53）组成；所述护圈盖（51）与护圈底座（53）的内侧凹陷处结构相同，凹陷弧面均与滚珠圆盘（52）紧密贴合。

7.根据权利要求1所述的一种可防止显影液背流的显影装置，其特征在于：所述护圈（6）由塑性材料制成，顶部为内高外底的斜面，斜面角度在30至60度之间。

8.根据权利要求1所述的一种可防止显影液背流的显影装置，其特征在于：所述负压管（4）、推杆（7）和距离传感器（8）均有4组，且每组的布置与引流结构（3）适配；所述推杆（7）与距离传感器（8）均与控制器连接。