[发明专利]一种双面掺硼金刚石薄膜电极的制备方法

权利要求书

1.一种热丝化学气相沉积装置，其特征在于，所述热丝化学气相沉积装置包括热丝化学气相沉积室、供气系统、排气系统、热丝机构、水冷装置、基体安装机构和支撑装置，所述热丝机构、所述水冷装置、所述基体安装机构和所述支撑装置位于所述热丝化学气相沉积室的腔体内；

其中，所述供气系统通过所述热丝化学气相沉积室顶部的进气口向所述热丝化学气相沉积室的腔体内供给气体；

所述排气系统通过所述热丝化学气相沉积室侧壁下方的排气口排出所述热丝化学气相沉积室的腔体内的气体；

所述热丝机构包括上部左电极、上部右电极、下部左电极、下部右电极、连接所述上部左电极和所述上部右电极的由多根相互平行的热丝构成的上部热丝组、连接所述下部左电极和所述下部右电极的由多根相互平行的热丝构成的下部热丝组，以及连接所述上部左电极与所述下部左电极的左电极支柱和连接所述上部右电极与所述下部右电极的右电极支柱，所述上部热丝组与所述下部热丝组相互平行；

所述支撑装置包括上部左安装部、上部右安装部、下部左安装部、下部右安装部、连接所述上部左安装部和所述上部右安装部的由多个相互平行的上部支撑部构成的上部支撑部组、连接所述下部左安装部和所述下部右安装部的由多个相互平行的下部支撑部构成的下部支撑部组；所述上部左安装部和所述下部左安装部通过所述左电极支柱连接，所述上部右安装部和所述下部右安装部通过所述右电极支柱连接，所述上部左安装部、所述上部右安装部和所述上部支撑部组位于所述上部左电极、所述上部右电极和所述上部热丝组的正上方，且保持平行；所述下部左安装部、下部右安装部和所述下部支撑部组位于所述下部左电极、所述下部右电极和所述下部热丝组的正下方，且保持平行；其中，每一个所述上部支撑部与所述上部热丝组的每一根热丝一一对应，且均包括连接所述上部左安装部和所述上部右安装部的上部支撑部安装部以及从所述上部支撑部安装部朝向所述上部热丝组的热丝延伸出的固定所述上部热丝组的热丝的上部支撑部固定部；每一个所述下部支撑部与所述下部热丝组的每一根热丝一一对应，且均包括连接所述下部左安装部和所述下部右安装部的下部支撑部安装部以及从所述下部支撑部安装部朝向所述下部热丝组的热丝延伸出的固定所述下部热丝组的热丝的下部支撑部固定部；

所述水冷装置包括安装所述左电极支柱的左水冷柱和安装所述右电极支柱的右水冷柱，所述左水冷柱和所述右水冷柱为中空的柱体，可通入冷却液；

所述基体安装机构位于所述左水冷柱和所述右水冷柱之间，包括卡设基体的侧壁镂空的卡箍基台以及支撑所述卡箍基台的可升降卡箍基台安装柱，其中，所述卡箍基台位于所述上部热丝组与所述下部热丝组之间。

2.如权利要求1所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，所述上部支撑部固定部为间隔设置的钩状结构，所述钩状结构的一端固定在所述上部支撑部安装部上，另一端钩挂所述上部热丝组的热丝。

3.如权利要求2所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，所述下部支撑部固定部为间隔设置的杆状结构，所述杆状结构的一端固定在所述下部支撑部安装部上，所述杆状结构的另一端为V型，且V型端支撑所述下部热丝组的热丝。

4.如权利要求1-3中任一项所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，所述热丝选材自钨丝或钽丝，所述上部支撑部固定部与所述下部支撑部固定部的材质与所述热丝相同。

5.如权利要求3所述的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，间隔设置的所述钩状结构和间隔设置的所述杆状结构的位置一一对应。