[发明专利]一种电镀装置及电镀方法有效
| 申请号： | 202110071104.1 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112899743B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·郎 | 申请（专利权）人： | 鑫巨（深圳）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D5/08 | 分类号： | C25D5/08;C25D17/10 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 武志峰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电镀 装置 方法 | ||
1.一种电镀装置，其特征在于，包括用于对生产板进行电镀的电镀单元，所述电镀单元包括用于朝向所述生产板喷镀电解液的电解液通道和设置于所述电解液通道外表面的电镀组件，所述电镀组件包括设置于所述电解液通道外表面的阳极和设置于阳极内且用于以喷镀反方向吸收电解液的吸入通道；
所述电镀组件以可移动的方式设置于所述电解液通道的外表面，以调节所述电镀组件与所述生产板的距离。
2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述阳极的外表面喷涂有一屏蔽涂层。
3.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述吸入通道设置有多个，且多个所述吸入通道均匀分布于所述阳极内。
4.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述吸入通道设置有一个，且所述吸入通道环形设置于所述阳极内。
5.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀单元与所述生产板之间设置有一扩散器。
6.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀单元设置有多个，多个所述电镀单元构成一电镀模块，所述电镀装置包括多个所述电镀模块。
7.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括电解槽和循环泵，所述电解槽与所述电解液通道连通，所述循环泵的一端与所述吸入通道连通，所述循环泵的另一端与所述电解槽连通。
8.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括用于放置生产板的可振荡机架。
9.一种利用权利要求1～8中任一项所述的电镀装置的电镀方法，其特征在于，包括：
根据预设的电镀距离对所述电镀装置中的每一电镀单元设置喷镀距离；
将待电镀的生产板放置于所述电镀装置的可振荡机架上，并通过所述电解液通道向所述生产板进行喷镀；
在喷镀过程中，通过所述可振荡机架对待电镀的生产板进行振荡摆动，其中，振荡频率为0.1赫兹～100赫兹。
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