[发明专利]波长转换元件及其制造方法、光源装置和投影仪

权利要求书

1.一种波长转换元件，其特征在于，具备：

波长转换层，其具有多个气孔，被第1波段的光激励而生成与所述第1波段的光不同的第2波段的光；

第1接合层，其形成于所述波长转换层的第1面；

第2接合层，其与所述第1接合层接合；以及

反射部件，其形成于所述第2接合层，反射所述第1波段的光或所述第2波段的光，

所述波长转换层的第1面具有多个凹部，

所述第1接合层的一部分以从所述第1面仅进入到所述多个凹部各自的一部分的方式形成，

所述第2接合层以覆盖所述凹部的方式形成，

所述第2接合层在与所述多个凹部分别对应的位置处包含不与所述第1接合层接合的部分，

所述第1接合层和所述第2接合层是等离子体聚合膜。

2.根据权利要求1所述的波长转换元件，其特征在于，

所述波长转换元件具备支承基板以及第3接合层，该第3接合层将所述支承基板和所述反射部件接合。

3.根据权利要求1或2所述的波长转换元件，其特征在于，

所述第1接合层的折射率低于所述波长转换层的折射率。

4.一种波长转换元件的制造方法，其特征在于，具备：

准备工序，准备波长转换层，该波长转换层具有多个气孔、第1面和设置于第1面的多个凹部，所述波长转换层被第1波段的光激励而生成与所述第1波段不同的第2波段的光；

第1工序，在所述波长转换层的所述第1面形成第1接合层；

第2工序，在基板的第2面形成反射部件；

第3工序，在所述反射部件处形成第2接合层；

第4工序，分别向所述第1接合层和所述第2接合层提供能量；

第5工序，对所述第1接合层和所述第2接合层进行加压，以使所述多个凹部被所述第2接合层覆盖的方式将所述第1接合层和所述第2接合层接合；以及

第6工序，将所述反射部件和所述基板分离，

在所述第1工序中，所述第1接合层的一部分以从所述第1面仅进入到所述多个凹部各自的一部分的方式形成，

所述第2接合层以在与所述多个凹部分别对应的位置处包含不与所述第1接合层接合的部分的方式形成。

5.根据权利要求4所述的波长转换元件的制造方法，其特征在于，

在所述第6工序之后具备第7工序，在该第7工序中，经由第3接合层将接合体与支承基板接合，该接合体是通过所述第1接合层和所述第2接合层将波长转换层和反射部件接合起来而成的。

6.根据权利要求4或5所述的波长转换元件的制造方法，其特征在于，

在所述第1工序中，使用折射率比所述波长转换层的折射率低的材料形成所述第1接合层。

7.一种光源装置，其特征在于，具备：

权利要求1～权利要求3中的任意一项所述的波长转换元件；以及

光源，其向所述波长转换元件射出所述第1波段的光。

8.一种投影仪，其特征在于，具备：

权利要求7所述的光源装置；

光调制装置，其根据图像信息对来自所述光源装置的光进行调制而形成图像光；以及

投射光学系统，其对所述图像光进行投射。