[发明专利]波长转换元件及其制造方法、光源装置和投影仪

说明书

提供波长转换元件及其制造方法、光源装置和投影仪，能够抑制反射部件的可靠性的降低。另外，提供具备该波长转换元件的光源装置。另外，提供具备该光源装置的投影仪。本发明的波长转换元件包括：波长转换层，其具有多个气孔，被第1波段的光激励而生成与第1波段的光不同的第2波段的光；第1接合层，其形成于波长转换层的第1面；第2接合层，其与第1接合层接合；以及反射部件，其形成于第2接合层，反射第1波段的光或第2波段的光，波长转换层的第1面具有凹部，第1接合层的一部分形成于凹部，第2接合层以覆盖凹部的方式形成，第1接合层及第2接合层为等离子体聚合膜。

技术领域

本发明涉及波长转换元件、波长转换元件的制造方法、光源装置和投影仪。

背景技术

例如，在下述专利文献1、2中公开了利用荧光的照明装置。

在下述专利文献1的照明装置中，采用如下的波长转换元件：通过使荧光体和对荧光体进行支承的支承部件进行化学结合，使从荧光体向支承部件的热传导性提高而抑制了荧光体的温度上升。在下述专利文献2的照明装置中，采用在荧光体与支承基板之间设置反射部件，使由荧光体生成的荧光通过反射部件进行反射而射出到外部的反射型的波长转换元件。

专利文献1：日本特开2018-136511号公报

专利文献2：日本特开2011-129354号公报

由于难以对专利文献2所公开的反射型的波长转换元件应用专利文献1所公开的化学结合，所以反射部件与荧光体的紧贴性降低，反射部件有可能从荧光体剥离。

发明内容

为了解决上述问题，根据本发明的第1方式，提供一种波长转换元件，其特征在于，具备：波长转换层，其具有多个气孔，被第1波段的光激励而生成与所述第1波段的光不同的第2波段的光；第1接合层，其形成于所述波长转换层的第1面；第2接合层，其与所述第1接合层接合；以及反射部件，其形成于所述第2接合层，反射所述第1波段的光或所述第2波段的光，所述波长转换层的第1面具有凹部，所述第1接合层的一部分形成在所述凹部中，所述第2接合层以覆盖所述凹部的方式形成，所述第1接合层和所述第2接合层是等离子体聚合膜。

根据本发明的第2方式，提供一种波长转换元件的制造方法，其特征在于，具备：准备工序，准备波长转换层，该波长转换层具有多个气孔、第1面和设置于第1面的凹部，所述波长转换层被第1波段的光激励而生成与所述第1波段不同的第2波段的光；第1工序，在所述波长转换层的所述第1面形成第1接合层；第2工序，在基板的第2面形成反射部件；第3工序，在所述反射部件处形成第2接合层；第4工序，分别向所述第1接合层和所述第2接合层提供能量；第5工序，对所述第1接合层和所述第2接合层加压，以使所述凹部被所述第2接合层覆盖的方式将所述第1接合层和所述第2接合层接合；以及第6工序，将所述反射部件和所述基板分离，在所述第1工序中，所述第1接合层的一部分形成在所述凹部内。

根据本发明的第3方式，提供一种光源装置，其具备上述第1方式的波长转换元件以及向所述波长转换元件射出所述第1波段的光的光源。

根据本发明的第4方式，提供一种投影仪，其具备：上述第3方式的光源装置；光调制装置，其通过根据图像信息对来自所述光源装置的光进行调制而形成图像光；以及投射光学系统，其对所述图像光进行投射。

附图说明

图1是表示投影仪的概要的图。

图2是表示照明装置的概要的图。

图3是表示波长转换元件的主要部分结构的剖面图。

图4是表示波长转换元件的主要部分结构的剖面图。

图5A是表示波长转换元件的制造工序的图。

图5B是表示波长转换元件的制造工序的图。

图5C是表示波长转换元件的制造工序的图。