[发明专利]一种半导体加工用机械手的校准治具

说明书

本发明涉及校准治具技术领域，具体涉及一种半导体加工用机械手的校准治具，包括底板和顶板，底板和顶板之间固定连接有导向柱，底板顶部中间安装有液压缸，液压缸顶部连接有升降板，升降板顶部中间活动安装有底座，底座顶部安装有治具本体，治具本体底部左右两侧均开设有横向定位槽，治具本体底部中间的前后两侧均开设有纵向定位槽，底座顶部左右两侧均固定有向上凸起的横向定位块，底座顶部中间的前后两侧均设置有向上凸起的纵向定位块，治具本体顶部铣有U型平面，导向柱外壁顶部套接套管，套管外壁一侧安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆另一端安装有侧边限位板，本发明降低了人为调节高度的不准确性，节省了时间，最大程度保证了校准效率。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工用机械手的校准治具。

背景技术

“治具”这个词是由日文的汉字直接翻过来，所以治具是个典型的外来词。举个例子来说明:要在一弧形电器产品上要上两颗螺丝，作业人员左手拿住产品，右手拿电批，这样操作短时间还可以，时间一长会造成员工过度疲劳，效率及品质都会下降，这时制程工程师就要考虑制作一个治具来辅助作业。常见的治具有∶自动化设备类、工装治具类、测试治具类、SMT过炉治具类、精密零件类、刀片类、DVD读取头等。简单说就是生产线上的一种辅助生产设备，一般将治具称作叫夹具。

机械手是一种能模仿人手和臂的某些动作功能，用以按固定程序抓取、搬运物件或操作工具的自动操作装置。特点是可以通过编程来完成各种预期的作业，构造和性能上兼有人和机械手机器各自的优点。机械手是最早出现的工业机器人，也是最早出现的现代机器人，它可代替人的繁重劳动以实现生产的机械化和自动化，能在有害环境下操作以保护人身安全，因而广泛应用于机械制造、冶金、电子、轻工和原子能等部门。

现有技术中缺少一种能够适用于机械手的治具，原有技术采用手动调节，将机械手伸进去，通过肉眼定高度标准，而人肉眼定标准本身就存在着不确定性，影响了校准的效率和准确性。为此，我们提出一种半导体加工用机械手的校准治具。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体加工用机械手的校准治具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体加工用机械手的校准治具，包括底板和顶板，所述底板和所述顶板之间左右两侧均固定连接有导向柱，所述底板顶部中间安装有液压缸，所述液压缸顶部连接有升降板，所述升降板左右两侧均开设有和所述导向柱适配的导向孔；

所述升降板顶部中间活动安装有底座，所述底座底部左右两侧均开设有Y型槽，所述升降板顶部左右两侧均固定有和所述Y型槽适配的Y型限位块，所述升降板顶部前后两侧均开设有条形槽，所述条形槽底部固定连接有弹簧二，所述条形槽内部顶部插接有弹性限位块，所述弹簧二顶部和所述弹性限位块底部固定连接，两个所述弹性限位块相对面均和所述底座外壁贴合，所述底座顶部安装有治具本体，所述治具本体底部左右两侧均开设有横向定位槽，所述治具本体底部中间的前后两侧均开设有纵向定位槽，所述底座顶部左右两侧均固定有向上凸起的横向定位块，所述底座顶部中间的前后两侧均设置有向上凸起的纵向定位块，所述横向定位槽和所述横向定位块嵌合结构匹配，所述纵向定位槽和所述纵向定位块嵌合结构匹配，所述治具本体顶部铣有U型平面，所述U型平面的高度为1.5MM；