[发明专利]一种磁过滤扫描磁场装置有效
| 申请号： | 202110080477.5 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112725733B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 程文雅;童丽香;管树敏;于瑞伶;许亚楠;魏新华;李波 | 申请（专利权）人： | 张家口柔电表面技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王富强 |
| 地址： | 075300 河北省张家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 过滤 扫描 磁场 装置 | ||
1.一种磁过滤扫描磁场装置，其特征在于：包括磁过滤管道，所述磁过滤管道的出口两侧均设置有铁芯，所述铁芯外侧缠绕有线圈，所述线圈通电产生磁力线，所述磁过滤管道的内部设置有两个偏压板，一个所述偏压板带正电，另一个所述偏压板带负电，所述偏压板的位置与所述铁芯的位置对应；所述线圈产生的磁力线方向交替变化，所述偏压板的电压交替变化，所述磁过滤管道能够与真空腔室连通，工件位于所述真空腔室内；
所述磁力线的方向的变化频率为1-10Hz，所述线圈内电流的大小为1-20A，磁场强度为10-100mT；所述偏压板的电压的变化频率为1-10Hz，所述偏压板的电压大小为 10-50V；所述偏压板的电压的变化频率与所述磁力线的方向的变化频率同步，或者，所述偏压板的电压的变化频率为所述磁力线的方向的变化频率的整数倍，使离子束斑的形状由原来的圆形束斑变成长方形束斑。
2.根据权利要求1所述的磁过滤扫描磁场装置，其特征在于：所述磁过滤管道的内径为150-250mm。
3.根据权利要求1所述的磁过滤扫描磁场装置，其特征在于：所述铁芯呈半椭圆形，所述铁芯的最小半径为所述磁过滤管道半径的1.5-2倍。
4.根据权利要求1所述的磁过滤扫描磁场装置，其特征在于：所述磁过滤管道与所述偏压板均绝缘。
5.根据权利要求1所述的磁过滤扫描磁场装置，其特征在于：所述偏压板通过绝缘螺钉固定在所述磁过滤管道的内部。
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