[发明专利]一种磁过滤扫描磁场装置

说明书

本发明公开了一种磁过滤扫描磁场装置，涉及磁过滤技术领域，包括磁过滤管道，所述磁过滤管道的出口两侧均设置有铁芯，所述铁芯外侧缠绕有线圈，所述线圈通电产生磁力线，所述磁过滤管道的内部设置有偏压板，所述偏压板的位置与所述铁芯的位置对应。本发明的线圈产生的磁力线的方向和偏压板的电压均交替变化，使离子束斑的形状发生明显的改变，由原来的圆形束斑变成长方形束斑，大大提高了离子束斑的纵向宽度，在处理长条形工件时有着非常明显的优势，提高了均匀性和效率。

技术领域

本发明涉及磁过滤技术领域，特别是涉及一种磁过滤扫描磁场装置。

背景技术

随着科技的发展，对磁过滤沉积表面处理技术提出了更高的要求，比如：沉积速率，膜层质量，以及膜层均匀性等。现有磁过滤沉积技术有效区域直径为200mm，而且在200mm内膜层厚度均匀性最大相差可达±50％，均匀性差，沉积效率偏低，严重影响膜层质量。

发明内容

本发明的目的是提供一种磁过滤扫描磁场装置，解决了现有磁过滤装置均匀性差、效率低等问题。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

本发明提供了一种磁过滤扫描磁场装置，包括磁过滤管道，所述磁过滤管道的出口两侧均设置有铁芯，所述铁芯外侧缠绕有线圈，所述线圈通电产生磁力线，所述磁过滤管道的内部设置有偏压板，所述偏压板的位置与所述铁芯的位置对应。

优选的，所述线圈产生的磁力线方向交替变化，所述磁力线的方向的变化频率为1-10Hz，所述线圈内电流的大小为1-20A，磁场强度为10-100mT。

优选的，所述偏压板的电压交替变化，所述偏压板的电压的变化频率为1-10Hz，所述偏压板的电压大小为10-50V。

优选的，所述偏压板的电压的变化频率与所述磁力线的方向的变化频率同步。

优选的，所述偏压板的电压的变化频率为所述磁力线的方向的变化频率的整数倍。

优选的，所述磁过滤管道的内径为150-250mm。

优选的，所述铁芯呈半椭圆形，所述铁芯的最小半径为所述磁过滤管道半径的1.5-2倍。

优选的，所述磁过滤管道与所述偏压板均绝缘。

优选的，所述偏压板通过绝缘螺钉固定在所述磁过滤管道的内部。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明的线圈产生的磁力线的方向和偏压板的电压均交替变化，使离子束斑的形状发生明显的改变，由原来的圆形束斑变成长方形束斑，大大提高了离子束斑的纵向宽度，在处理长条形工件时有着非常明显的优势，提高了均匀性和效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的磁过滤扫描磁场装置示意图；

图2为本发明的磁过滤扫描磁场装置扫描示意图；

图3为采用本发明的磁过滤扫描磁场装置产生的束斑示意图一(应用例1)；

图4为采用本发明的磁过滤扫描磁场装置产生的束斑示意图二(应用例2)；

图5为采用本发明的磁过滤扫描磁场装置产生的束斑示意图三(应用例3)；

图6为束斑中心距离与电阻关系曲线图；

其中：101-线圈，102-偏压板，103-磁过滤管道，104-磁力线，202-束流线。