[发明专利]一种高精度硅晶棒切割设备

权利要求书

1.一种高精度硅晶棒切割设备，包括工作台(1)、传动轴(2)和切割片(3)，所述传动轴(2)水平设置在工作台(1)的上方，所述切割片(3)安装在传动轴(2)的中端，所述传动轴(2)上设有驱动装置，所述驱动装置与传动轴(2)传动连接，其特征在于，所述传动轴(2)上设有两个清洁机构和两个辅助机构，所述切割片(3)位于两个清洁机构之间，所述辅助机构与清洁机构一一对应；

所述清洁机构包括连接管(4)、移动环(5)和两个清洁组件，所述连接管(4)与移动环(5)均与传动轴(2)同轴设置，所述传动轴(2)穿过移动环(5)，所述移动环(5)与传动轴(2)滑动且密封连接，所述移动环(5)位于连接管(4)内，所述移动环(5)与连接管(4)的内壁滑动且密封连接，所述连接管(4)与传动轴(2)固定连接，所述清洁组件以传动轴(2)的轴线为中心周向均匀设置在移动环(5)的远离切割片(3)的一侧；

所述清洁组件包括固定管(6)、复位弹簧(7)、移动盘(8)、磁铁块(9)、支撑管(10)和活塞(11)，所述固定管(6)的轴线与传动轴(2)的轴线垂直且相交，所述固定管(6)位于连接管(4)的远离切割片(3)的一侧，所述固定管(6)与传动轴(2)的密封且固定连接，所述移动盘(8)与固定管(6)同轴设置且位于固定管(6)内，所述移动盘(8)与固定管(6)的内壁滑动且密封连接，所述移动盘(8)通过复位弹簧(7)与传动轴(2)连接，所述磁铁块(9)位于移动盘(8)的远离传动轴(2)的一侧，所述磁铁块(9)固定在固定管(6)的内壁上，所述磁铁块(9)与移动盘(8)之间设有间隙，所述移动盘(8)的制作材料为铁，所述支撑管(10)与传动轴(2)平行且位于固定管(6)和移动环(5)之间，所述支撑管(10)固定在固定管(6)上且与固定管(6)连通，所述支撑管(10)位于移动盘(8)的靠近传动轴(2)的一侧，所述活塞(11)与支撑管(10)匹配，所述活塞(11)的一端设置在支撑管(10)内，所述活塞(11)的另一端固定在移动环(5)上，所述移动环(5)与支撑管(10)之间设有间隙；

所述辅助机构位于移动环(5)和切割片(3)之间，所述辅助机构包括两个辅助组件，所述辅助组件与固定管(6)一一对应，所述辅助组件包括动力组件和执行组件；

所述执行组件包括第一轴承(12)、转动轴(13)、卷筒(14)、连接线(15)和定滑轮(16)，所述转动轴(13)设置在连接管(4)内，所述转动轴(13)的轴线与传动轴(2)的轴线垂直且相交，所述卷筒(14)安装在转动轴(13)的靠近传动轴(2)的一端，所述定滑轮(16)固定在传动轴(2)上且位于卷筒(14)和切割片(3)之间，所述连接线(15)的一端固定在卷筒(14)上，所述连接线(15)的另一端绕过定滑轮(16)固定在切割片(3)上，所述连接线(15)卷绕在卷筒(14)上，所述连接线(15)的靠近切割片(3)的一端位于定滑轮(16)的远离传动轴(2)的一侧，所述第一轴承(12)的内圈安装在转动轴(13)上，所述第一轴承(12)的外圈固定在连接管(4)的内壁上，所述动力组件设置在转动轴(13)的远离传动轴(2)的一侧；

所述动力组件包括连接轴(17)、第二轴承(18)、齿轮(19)、齿条(20)和扭转弹簧(21)，所述连接轴(17)与转动轴(13)同轴设置，所述齿轮(19)安装在连接轴(17)的远离传动轴(2)的一端，所述扭转弹簧(21)位于连接轴(17)和转动轴(13)之间，所述连接轴(17)通过扭转弹簧(21)与转动轴(13)连接，所述第二轴承(18)的内圈安装在连接轴(17)上，所述齿条(20)固定在移动环(5)上且与齿轮(19)啮合。

2.如权利要求1所述的高精度硅晶棒切割设备，其特征在于，所述连接线(15)为钢丝绳。

3.如权利要求1所述的高精度硅晶棒切割设备，其特征在于，所述移动环(5)的制作材料为橡胶。

4.如权利要求1所述的高精度硅晶棒切割设备，其特征在于，所述支撑管(10)的内壁上涂有密封脂。

5.如权利要求1所述的高精度硅晶棒切割设备，其特征在于，所述齿条(20)上涂有润滑油。