[发明专利]支撑治具及清洗设备

权利要求书

1.支撑治具，用于光罩清洗时支撑光罩，其特征在于，包括载具本体，所述载具本体具有相对的上表面和下表面，所述载具本体的中部设有：

第一通槽，所述第一通槽用于容纳所述光罩，且收容于所述第一通槽内的所述光罩的上表面高于所述载具本体的上表面；

多个第二通槽，环绕设于所述第一通槽的外侧，至少部分所述第二通槽的截面积从所述上表面往所述下表面的方向逐渐增大；

支撑部，用于支撑所述光罩，设于所述第一通槽的槽壁上并延伸至所述第一通槽内。

2.根据权利要求1所述的支撑治具，其特征在于，各所述第二通槽和所述第一通槽相贯通。

3.根据权利要求1所述的支撑治具，其特征在于，所述第二通槽的槽壁从所述上表面往所述下表面的方向依次包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁呈竖直状，所述第二侧壁呈倾斜状。

4.根据权利要求3所述的支撑治具，其特征在于，所述第二侧壁倾斜的角度介于40°-50°之间。

5.根据权利要求1所述的支撑治具，其特征在于，所述第一通槽的槽壁上设有多个相互独立的所述支撑部。

6.根据权利要求1所述的支撑治具，其特征在于，所述支撑部的顶角和所述载具本体的连接处设有避让孔。

7.根据权利要求1所述的支撑治具，其特征在于，所述支撑部上形成凸起，所述凸起用于支撑所述光罩。

8.根据权利要求7所述的支撑治具，其特征在于，所述凸起的截面呈弧形。

9.根据权利要求7所述的支撑治具，其特征在于，所述凸起的高度介于0.5-1.5mm之间。

10.清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的支撑治具。