[发明专利]一种晶圆自动下片装置

权利要求书

1.一种晶圆自动下片装置，包括机架，其特征在于：所述机架上设有倍速链输送线、载具定位机构、载具举升机构、取放机械臂、盖板放置台和晶圆放置台，所述载具定位机构和所述载具举升机构沿所述倍速链输送线的输送方向依次设置，所述倍速链输送线上设有阻挡气缸，所述阻挡气缸设有两个，且分别于所述载具定位机构的前后端设置，所述取放机械臂和所述盖板放置台均位于所述倍速链输送线的一侧，且所述取放机械臂的工作轴端部设有用以实现盖板和晶圆取放的取放料机构，所述晶圆放置台位于所述倍速链输送线的一端，且所述倍速链输送线的端部还设有与所述载具举升机构对应设置的载具拨送机构；

所述载具定位机构包括夹持气缸驱动的升降托板和固定安装于所述机架上的托盘限位块、载片板限位板，所述升降托板的顶面设有用以实现晶圆载具定位的定位销，所述托盘限位块和所述载片板限位板均于所述倍速链输送线的两侧，且对应设置，处于定位状态时，晶圆载具定位夹持于所述升降托板和所述托盘限位块、所述载片板限位板之间，且所述托盘限位块延伸至晶圆载具的托盘设置，所述载片板限位板延伸至晶圆载具的载片板设置。

2.如权利要求1所述的晶圆自动下片装置，其特征在于：所述倍速链输送线包括固定安装于所述机架上的输送架体，所述输送架体的一端转动安装有驱动电机驱动的传动轴，所述传动轴的两端分别键连接有主动齿轮，所述输送架体的另一端转动安装有分别与所述主动齿轮对应设置的从动齿轮，对应设置的所述主动齿轮和所述从动齿轮之间架绕有倍速链，且所述主动齿轮和所述从动齿轮通过所述倍速链传动相连；

所述输送架体的端部还均固定安装有倍速链回程导轨，所述倍速链回程导轨具有圆弧形导向面，所述输送架体的顶部内侧均固定安装有耐磨条，沿所述输送架体长度方向对应设置的所述耐磨条间形成与晶圆载具宽度相适配的导向滑道。

3.如权利要求2所述的晶圆自动下片装置，其特征在于：所述机架上固定安装有气缸安装板，所述夹持气缸固定安装于所述气缸安装板上，且所述夹持气缸的活塞轴顶部与所述升降托板的底面中间位置固定连接；

所述气缸安装板上还固定安装有若干直线轴承，所述直线轴承内沿竖直方向滑动插装有导向轴，所述导向轴的顶端均与所述升降托板固定连接。

4.如权利要求3所述的晶圆自动下片装置，其特征在于：所述取放料机构包括固定安装于所述取放机械臂工作轴上的安装框架，所述安装框架上安装有取片气缸驱动的伯努利吸盘，所述安装框架的底部还固定安装有吸嘴安装板，所述吸嘴安装板的底部安装有若干盖板吸嘴。

5.如权利要求4所述的晶圆自动下片装置，其特征在于：所述取片气缸固定安装于所述安装框架上，所述取片气缸的活塞轴端部通过浮动接头连接有吸盘安装板，所述吸盘安装板与所述安装框架间设有第一压缩弹簧，所述第一压缩弹簧的两端分别与所述吸盘安装板、所述安装框架连接，且所述第一压缩弹簧处于压缩状态，所述伯努利吸盘固定安装于所述吸盘安装板的底面；

所述吸嘴安装板上固定安装有若干衬套，所述衬套内沿竖直方向滑动插装有吸嘴安装杆，所述吸嘴安装杆上套装有第二压缩弹簧，所述第二压缩弹簧位于所述吸嘴安装杆的底部与所述衬套之间，所述吸嘴安装杆的顶端固定安装有挡环，所述盖板吸嘴分别固定安装于所述吸嘴安装杆的底端；

所述吸嘴安装板上还螺纹配合安装有若干止动螺栓，若干所述止动螺栓的底端于同一水平面设置。

6.如权利要求5所述的晶圆自动下片装置，其特征在于：所述盖板放置台包括通过立柱固定安装于所述机架上的盖板放置盘，所述盖板放置盘上具有与盖板外径相适配的盖板定位沿。

7.如权利要求6所述的晶圆自动下片装置，其特征在于：所述晶圆放置台包括固定安装于所述机架上的安装架，所述安装架上均匀设有若干晶圆放置工装，所述晶圆放置工装包括固定安装于所述安装架上、且对应设置的定位块，所述定位块上具有与晶圆外径相适配的晶圆定位沿，所述安装架上还固定安装有分别与所述晶圆放置工装对应设置的光电开关。