[发明专利]一种晶圆载具自动下螺丝装置

权利要求书

1.一种晶圆载具自动下螺丝装置，包括机架，其特征在于：所述机架上设有倍速链输送线、载具定位机构和自动下螺丝机构，所述倍速链输送线上设有阻挡气缸，所述阻挡气缸沿所述倍速链输送线输送方向设有两组，且分别于所述载具定位机构的两端设置，所述自动下螺丝机构位于所述载具定位机构上方；

所述载具定位机构包括活塞气缸驱动的升降托板，所述升降托板的顶面设有用以实现晶圆载具定位的定位销，所述定位销包括圆柱形定位销和菱形定位销，所述圆柱形定位销和所述菱形定位销分别于所述升降托板的两端设置，所述倍速链输送线的两侧还设有托盘限位块和盖板限位板，处于定位状态时，晶圆载具定位夹持于所述升降托板和所述托盘限位块、所述盖板限位板之间，且所述托盘限位块延伸至晶圆载具的托盘设置，所述盖板限位板延伸至晶圆载具的盖板设置；

所述自动下螺丝机构设有两套，且分别沿所述倍速链输送线的输送方向排列设置；

所述自动下螺丝机构包括由第一驱动装置驱动、且沿X轴方向滑动的第一安装板，所述第一安装板上沿Y轴方向滑动安装有第二驱动装置驱动的第二安装板，所述第二安装板上沿Z轴方向滑动安装有第三驱动装置驱动的第三安装板，所述第三安装板上通过缓冲机构安装有电批；

所述机架上还固定安装有若干螺钉导料管，对晶圆载具定位状态时，所述螺钉导料管顶端进料口分别与晶圆载具上的螺钉落料孔对应设置，所述机架上固定安装有安装块，所述安装块上螺纹配合安装有定位螺栓，所述螺钉导料管活动插装于所述安装块内，且利用所述定位螺栓定位固定。

2.如权利要求1所述的晶圆载具自动下螺丝装置，其特征在于：所述第一驱动装置包括固定安装于所述机架上的第一电缸，所述机架上还固定安装有与所述第一电缸平行设置的第一导轨，所述第一导轨上滑动安装有第一滑块，所述第一安装板的两端分别通过安装座与所述第一滑块、所述第一电缸的滑板固定连接；

所述第二驱动装置包括固定安装于所述第一安装板上的第二电缸，所述第二安装板固定安装于所述第二电缸的滑板上；

所述第三驱动装置包括固定安装于所述第二安装板上的第三电缸，所述第三安装板固定安装于所述第三电缸的滑板上。

3.如权利要求1所述的晶圆载具自动下螺丝装置，其特征在于：所述缓冲机构包括沿竖直方向滑动安装于所述第三安装板上的连接板，所述连接板顶端与所述第三安装板的顶部间设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两端分别与所述连接板、所述第三安装板连接，所述电批固定安装于所述连接板上。

4.如权利要求3所述的晶圆载具自动下螺丝装置，其特征在于：所述机架上固定安装有气缸安装板，所述活塞气缸固定安装于所述气缸安装板上，且所述活塞气缸的活塞轴顶部与所述升降托板的底面中间位置固定连接；

所述气缸安装板上还固定安装有若干直线轴承，所述直线轴承内沿竖直方向滑动插装有导向轴，所述导向轴的顶端均与所述升降托板固定连接。

5.如权利要求4所述的晶圆载具自动下螺丝装置，其特征在于：所述机架底部固定安装有与所述螺钉导料管下料口对应设置的螺钉滑道，所述螺钉滑道的出料口位于所述机架一侧。

6.如权利要求5所述的晶圆载具自动下螺丝装置，其特征在于：所述倍速链输送线的进料端还设有扫码器。

7.如权利要求1-6任一项所述的晶圆载具自动下螺丝装置，其特征在于：所述倍速链输送线包括固定安装于所述机架上的输送架体，所述输送架体的一端转动安装有驱动电机驱动的传动轴，所述传动轴的两端键连接有主动齿轮，所述输送架体的另一端转动安装有与所述主动齿轮对应设置的从动齿轮，所述主动齿轮和所述从动齿轮间架绕有倍速链，且通过所述倍速链传动相连。

8.如权利要求7所述的晶圆载具自动下螺丝装置，其特征在于：所述输送架体的端部均固定安装有倍速链回程导轨，所述倍速链回程导轨具有圆弧形导向面，所述输送架体的顶部内侧沿长度方向均固定安装有耐磨条，对应设置的所述耐磨条间形成与晶圆载具宽度相适配的导向滑道。

9.如权利要求8所述的晶圆载具自动下螺丝装置，其特征在于：所述机架的底部安装有福马轮，所述机架的顶部一侧设有显示屏，所述机架的外防护壳上设有观察窗，且所述机架的一端开设有与所述倍速链输送线对应设置的晶圆载具进料口。