[发明专利]一种晶圆撕膜机的撕膜设备

权利要求书

1.一种晶圆撕膜机的撕膜设备，其结构包括机箱(1)、机身(2)、按钮(3)、显示屏(4)、放料盘(5)、机盖(6)、压辊(7)，所述机箱(1)左端与机身(2)右端嵌固连接，所述按钮(3)与机身(2)左端卡合连接，所述显示屏(4)嵌固连接于机身(2)左端，所述放料盘(5)与机身(2)内壁相焊接，所述机盖(6)下端卡合连接于机身(2)上端，所述压辊(7)两端与机盖(6)下端卡合连接；其特征在于：

所述机箱(1)包括电动机(11)、胶布辊(12)、卷辊(13)、收辊(14)，所述电动机(11)与机箱(1)内部铆合连接，所述胶布辊(12)与机箱(1)内壁卡合连接，所述卷辊(13)两端安装于机箱(1)内壁，所述收辊(14)卡合连接于机箱(1)内壁。

2.如根据权利要求1所述的一种晶圆撕膜机的撕膜设备，其特征在于：所述收辊(14)包括转轴(141)、收胶器(142)、压力器(143)、液压油(144)、液压壁(145)，所述转轴(141)左端与机箱(1)内壁卡合连接，所述收胶器(142)与转轴(141)嵌固连接，所述压力器(143)卡合连接于液压壁(145)右端，所述液压壁(145)中设有液压油(144)，所述液压壁(145)左端嵌固连接于收胶器(142)内壁。

3.如根据权利要求2所述的一种晶圆撕膜机的撕膜设备，其特征在于：所述收胶器(142)包括粘块(421)、推杆(422)、圆板(423)、固定块(424)，所述粘块(421)内侧与固定块(424)外侧嵌固连接，所述圆板(423)内侧与固定块(424)外侧嵌固连接，所述固定块(424)内侧设有液压油(144)。

4.如根据权利要求2所述的一种晶圆撕膜机的撕膜设备，其特征在于：所述压力器(143)包括顶板(431)、压块(432)、压杆(433)、曲杆(434)、弹簧(435)，所述顶板(431)下端与曲杆(434)嵌固连接，所述压杆(433)左端与弹簧(435)右端嵌固连接，所述曲杆(434)右端与压杆(433)左端铰接连接，所述弹簧(435)左端与压力器(143)内壁左侧相焊接。

5.如根据权利要求3所述的一种晶圆撕膜机的撕膜设备，其特征在于：所述推杆(422)包括海绵块(221)、固定杆(222)、水管(223)、活塞块(224)、密封机构(225)，所述海绵块(221)两端嵌固连接于推杆(422)内壁上端，所述固定杆(222)两端与固定块(424)嵌固连接，所述推杆(224)内设有水管(223)，所述活塞块(224)上端与固定杆(222)下端相焊接，所述密封机构(225)卡合连接于水管(223)上端。

6.如根据权利要求5所述的一种晶圆撕膜机的撕膜设备，其特征在于：所述密封机构(225)包括环形弹簧(251)、镶嵌板(252)、磁块(253)、活动杆(254)、旋转轴(255)，所述环形弹簧(251)安装于旋转轴(255)上，所述密封机构(225)内部设有镶嵌板(252)，所述磁块(253)外侧与活动杆(254)内侧嵌固连接，所述活动杆(254)外侧铰接连接于镶嵌板(252)下端，所述旋转轴(255)左端与水管(223)内壁铰接连接。