[发明专利]一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备

权利要求书

1.一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其结构包括除膜机构(1)、调节把手(2)、控制器(3)、闭合器(4)，所述调节把手(2)贯穿于除膜机构(1)侧面内部，所述闭合器(4)安装于除膜机构(1)上端，所述控制器(3)嵌固在除膜机构(1)左侧上端，其特征在于：

所述除膜机构(1)设有电路器(11)、放置机构(12)、操作箱(13)、旋转机构(14)，所述电路器(11)卡合在操作箱(13)左侧内部，所述放置机构(12)嵌固在操作箱(13)内部底端，所述旋转机构(14)外侧焊接在操作箱(13)内部侧面，所述闭合器(4)安装于操作箱(13)上端。

2.根据权利要求1所述的一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其特征在于：所述放置机构(12)设有固定盘(12a)、支撑机构(12b)、伸缩杆(12c)、固定栓(12d)，所述固定盘(12a)卡合在支撑机构(12b)上端，所述伸缩杆(12c)贯穿于固定栓(12d)内部，所述支撑机构(12b)安装于伸缩杆(12c)上端，所述固定栓(12d)下端嵌固在操作箱(13)内部底端。

3.根据权利要求2所述的一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其特征在于：所述支撑机构(12b)设有弹簧带(b 1)、杠杆机构(b2)、支撑环(b3)，所述弹簧带(b 1)连接在杠杆机构(b2)左右两侧，所述杠杆机构(b2)底端与支撑环(b3)间隙配合，所述杠杆机构(b2)卡合在固定盘(12a)上端。

4.根据权利要求3所述的一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其特征在于：所述杠杆机构(b2)设有活动杆(b21)、活动槽(b22)、杠杆板(b23)、压缩板(b24)、弹簧(b25)，所述(w22)焊接在杠杆板(b23)下端，所述弹簧(b25)嵌固在杠杆板(b23)内部上端，所述压缩板(b24)贴合在杠杆板(b23)上端，所述活动杆(b21)卡合在杠杆板(b23)左侧内部，所述活动槽(b22)与支撑环(b3)间隙配合。

5.根据权利要求1所述的一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其特征在于：所述旋转机构(14)由摩擦机构(w1)、连接块(w2)、弹力杆(w3)、固定杆(w4)、伸缩杆(w5)、旋转轴(w6)构成，所述摩擦机构(w1)嵌固在连接块(w2)左侧，所述连接块(w2)安装于弹力杆(w3)左侧，所述弹力杆(w3)位于固定杆(w4)内部，所述固定杆(w4)连接在伸缩杆(w5)左侧，所述伸缩杆(w5)卡合在旋转轴(w6)内部，所述旋转轴(w6)外侧焊接在操作箱(13)内部侧面。

6.根据权利要求5所述的一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其特征在于：所述摩擦机构(w1)设有摩擦块(w11)、橡胶板(w12)、受力板(w13)，所述摩擦块(w11)安装于橡胶板(w12)左侧，所述橡胶板(w12)贴合在受力板(w13)左侧，所述受力板(w13)嵌固在连接块(w2)左侧。