[发明专利]一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备

说明书

本发明公开了一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其结构包括除膜机构、调节把手、控制器、闭合器，调节把手贯穿于除膜机构侧面内部，闭合器安装于除膜机构上端，控制器嵌固在除膜机构左侧上端，杠杆板通过活动槽下端的支撑环进行杠杆活动，伸缩杆有规律的升降，使得固定盘上的晶圆进行上下倾斜活动，增加去除薄膜的倾斜角度，避免了单一的倾斜角度容易造成边缘清洗刮除效果较弱的问题，防止晶圆边缘清洗刮除不干净，橡胶板左侧的摩擦块对薄膜进行去除，摩擦块使晶圆倾斜时进行竖向作用力，通过橡胶板的弧形结构避免刮除时中间产生内陷，且橡胶板的弧形结构对晶圆边缘沿角位置的受力较好，防止晶圆边缘沿角位置清洗刮除不干净。

技术领域

本发明涉及晶圆涂膜领域，具体涉及一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备。

背景技术

晶圆尺寸的扩大引起晶圆边缘的面积扩大，需要对边缘的缺陷进行控制，晶圆边缘薄膜沉积到一定程度后，在内部应力或者外力作用下发生剥落，在背面以及边缘喷洒上溶液，利用旋转的作用对边缘进行刮除清洗，由于晶圆边缘反应接触角更大，因此边缘沿角位置会沉积厚度较厚的薄膜，而其他区域的薄膜厚度相比较边缘沿角位置处则较薄，在旋转刮除清洗时，使用单一的倾斜角度容易造成边缘上端或者下端清洗效果较弱，导致边缘清洗不干净，出现边缘环形缺陷的问题。

发明内容

本发明通过如下的技术方案来实现：一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其结构包括除膜机构、调节把手、控制器、闭合器，所述调节把手贯穿于除膜机构侧面内部，所述闭合器安装于除膜机构上端，所述控制器嵌固在除膜机构左侧上端，所述除膜机构设有电路器、放置机构、操作箱、旋转机构，所述电路器卡合在操作箱左侧内部，所述放置机构嵌固在操作箱内部底端，所述旋转机构外侧焊接在操作箱内部侧面，所述闭合器安装于操作箱上端，所述电路器与旋转机构为电连接，所述旋转机构以放置机构为中心环形安装。

作为本发明进一步改进，所述放置机构设有固定盘、支撑机构、伸缩杆、固定栓，所述固定盘卡合在支撑机构上端，所述伸缩杆贯穿于固定栓内部，所述支撑机构安装于伸缩杆上端，所述固定栓下端嵌固在操作箱内部底端，所述伸缩杆设有八个，以固定栓为中心环形环绕分布。

作为本发明进一步改进，所述支撑机构设有弹簧带、杠杆机构、支撑环，所述弹簧带连接在杠杆机构左右两侧，所述杠杆机构底端与支撑环间隙配合，所述杠杆机构卡合在固定盘上端，所述杠杆机构设有八个，以固定栓为中心轴环形均匀分布。

作为本发明进一步改进，所述杠杆机构设有活动杆、活动槽、杠杆板、压缩板、弹簧，所述焊接在杠杆板下端，所述弹簧嵌固在杠杆板内部上端，所述压缩板贴合在杠杆板上端，所述活动杆卡合在杠杆板左侧内部，所述活动槽与支撑环间隙配合，所述弹簧设有两个，其平行位置位于活动槽左右两侧，所述压缩板为橡胶材质，具有韧性强，压缩力大的特性，所述杠杆板为倾斜状态。

作为本发明进一步改进，所述旋转机构由摩擦机构、连接块、弹力杆、固定杆、伸缩杆、旋转轴构成，所述摩擦机构嵌固在连接块左侧，所述连接块安装于弹力杆左侧，所述弹力杆位于固定杆内部，所述固定杆连接在伸缩杆左侧，所述伸缩杆卡合在旋转轴内部，所述旋转轴外侧焊接在操作箱内部侧面，所述伸缩杆外侧设有褶皱环，所述固定杆与伸缩杆为水平状态安装，所述连接块右侧与固定杆左侧间隙配合。

作为本发明进一步改进，所述摩擦机构设有摩擦块、橡胶板、受力板，所述摩擦块安装于橡胶板左侧，所述橡胶板贴合在受力板左侧，所述受力板嵌固在连接块左侧，所述摩擦块为三角形结构，所述橡胶板为弧形结构，具有增大受力角度的效果。

有益效果

与现有技术相比，本发明有益效果在于：