[发明专利]掩膜板及蒸镀装置

说明书

本发明提供了一种掩膜板及蒸镀装置，本发明实施例中的技术方案，掩膜板包括掩膜板本体，所述掩膜板本体包括蒸镀区和遮挡区，所述掩膜板还包括：支撑条，位于所述掩膜板本体的第一侧的所述遮挡区；隔离部，位于所述掩膜板本体的第二侧的所述遮挡区，所述第一侧与所述第二侧分别位于所述掩膜板本体的相对的两侧。通过在掩膜板的第一侧和第二侧分别设置支撑条和隔离部，分别给掩膜板本体和基板以支撑，减小了掩膜板的侧向偏移，减小蒸镀偏位。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩模板及蒸镀装置。

背景技术

有机电致发光显示(Organic Light Emitting Display，OLED)是一种极具发展前景的显示技术。OLED显示装置不仅具有十分优异的显示性能，还具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域主力军。

OLED需要将有机发光材料通过掩膜板蒸镀到基板上，在张网和蒸镀过程中，掩膜板和基板均会下垂，但是因为自身重量和材料不同等原因，其下垂量不同，因此基板的中央位置下垂最先接触到掩膜板，然后在掩膜板表面摊开展平，因此掩膜板不同位置受到应力不同，容易导致掩模板侧向偏移，导致蒸镀偏位。

发明内容

本发明提供一种掩模板及蒸镀系统，减少张网和蒸镀过程中，掩膜板侧向偏移引起的蒸镀偏位。

在本发明的一个实施例中，掩膜板包括掩膜板本体，所述掩膜板本体包括蒸镀区和遮挡区，所述掩膜板还包括：

支撑条，位于所述掩膜板本体的第一侧的所述遮挡区；

隔离部，位于所述掩膜板本体的第二侧的所述遮挡区，所述第一侧与所述第二侧分别位于所述掩膜板本体的相对的两侧。

在本发明的一个实施例中，可选地，在平行于所述掩膜板本体的平面上，所述隔离部投影的宽度小于所述支撑条的宽度。

在本发明的一个实施例中，可选地，所述支撑条与所述隔离部均为条形结构，在平行于所述掩膜板本体的平面上，所述支撑条的投影与所述隔离部的投影至少部分重合。

在本发明的一个实施例中，可选地，多个所述支撑条沿第一方向延伸并沿第二方向排列，多个所述隔离部沿第二方向延伸并沿第一方向排列，所述第一方向与所述第二方向交叉。

在本发明的一个实施例中，可选地，所述支撑条为分别沿第一方向和第二方向延伸的网格状结构，所述隔离部为分别沿所述第一方向和所述第二方向延伸的网格状结构，所述第一方向和所述第二方向交叉，在平行于所述掩膜板本体的平面上，所述支撑条的投影完全覆盖所述隔离部的投影。

在本发明的一个实施例中，可选地，所述支撑条为条形结构或网状结构，所述隔离部为位于所述掩膜板本体第二侧表面并向远离所述第二侧表面延伸的若干凸起，在平行于所述掩膜板本体的平面上，所述支撑条的投影完全覆盖所述凸起的投影。

在本发明的一个实施例中，可选地，所述凸起具有靠近掩膜板本体的第一面与远离掩膜板本体的第二面，所述第一面的面积大于所述第二面的面积。

在本发明的一个实施例中，可选地，所述凸起在所述掩膜板本体上的密度由所述掩膜板的中心区域向边缘区域逐渐减小。

在本发明的一个实施例中，可选地，所述隔离部的厚度小于10um。

在本发明的一个实施例中，可选地，所述支撑条和所述隔离部的材质为因瓦合金或镍铁中的一种。

在本发明的另一实施例中，包括一蒸镀装置，包括如上任一项中所述的掩膜板，还包括蒸镀源和待蒸镀基板，其中：

所述支撑条位于所述掩膜板靠近蒸镀源的一侧，所述隔离部位于所述掩膜板靠近待蒸镀基板的一侧。