[发明专利]机械臂及其组件、测试系统及方法、存储介质及电子设备

权利要求书

1.一种用于半导体结构测试的机械臂，其特征在于，包括本体(10)和操作臂(20)，所述操作臂(20)包括：

连接件(21)，所述连接件(21)与所述本体(10)相连接；

第一转接部(22)，所述第一转接部(22)与所述连接件(21)相连接，所述第一转接部(22)用于安装打开和关闭基座(1)的第一操作机构(2)；

第二转接部(23)，所述第二转接部(23)与所述连接件(21)相连接，所述第二转接部(23)用于安装抓取和释放半导体器件的第二操作机构(3)；

其中，当所述第一转接部(22)驱动所述第一操作机构(2)打开所述基座(1)后，所述第二转接部(23)能够驱动所述第二操作机构(3)将半导体器件放入所述基座(1)中，或将所述基座(1)中的半导体器件取出。

2.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述本体(10)包括：

支撑件(11)，所述支撑件(11)用于将所述机械臂悬挂在空中；

运动件(12)，所述运动件(12)设置在所述支撑件(11)上，且相对于所述支撑件(11)可活动地设置；

其中，所述连接件(21)与所述运动件(12)相连接，所述连接件(21)能够随所述运动件(12)运动。

3.根据权利要求2所述的机械臂，其特征在于，所述运动件(12)相对于所述支撑件(11)沿竖直方向可移动地设置，以驱动所述连接件(21)沿靠近或远离所述基座(1)的方向移动。

4.根据权利要求3所述的机械臂，其特征在于，所述运动件(12)相对于所述支撑件(11)可转动地设置，以使所述连接件(21)能够随所述运动件(12)转动。

5.根据权利要求2所述的机械臂，其特征在于，所述本体(10)还包括：

第一壳体件(13)，所述第一壳体件(13)与所述支撑件(11)相连接，所述运动件(12)可活动地设置在所述第一壳体件(13)内；

第二壳体件(14)，所述第二壳体件(14)与所述第一壳体件(13)相连接，所述连接件(21)可活动地设置在所述第二壳体件(14)内，所述第一转接部(22)和所述第二转接部(23)能够随所述连接件(21)运动。

6.根据权利要求2所述的机械臂，其特征在于，所述连接件(21)相对于所述运动件(12)可活动地设置。

7.根据权利要求2所述的机械臂，其特征在于，所述支撑件(11)能够驱动所述机械臂在空中移动。

8.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述操作臂(20)还包括：

旋转件(24)，所述旋转件(24)与所述连接件(21)相连接，所述第一转接部(22)和所述第二转接部(23)均设置在所述旋转件(24)上，以使所述第一转接部(22)和所述第二转接部(23)均通过所述旋转件(24)与所述连接件(21)相连接。

9.根据权利要求8所述的机械臂，其特征在于，所述旋转件(24)的至少部分相对于所述连接件(21)可转动地设置，以使所述第一转接部(22)和所述第二转接部(23)均随所述旋转件(24)可转动地设置；

其中，所述旋转件(24)用于使所述第一操作机构(2)和所述第二操作机构(3)中的一个与所述基座(1)相对设置。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的机械臂，其特征在于，所述操作臂(20)为多个，多个所述操作臂(20)依次设置在所述本体(10)上。

11.根据权利要求10所述的机械臂，其特征在于，多个所述操作臂(20)环绕所述本体(10)的周向方向设置。

12.一种机械臂组件，其特征在于，包括权利要求1至11中任一项所述的机械臂、第一操作机构(2)以及第二操作机构(3)。