[发明专利]机械臂及其组件、测试系统及方法、存储介质及电子设备

说明书

本发明涉及半导体技术领域，提出了一种机械臂及其组件、测试系统及方法、存储介质及电子设备。机械臂包括本体和操作臂，操作臂包括连接件、第一转接部以及第二转接部，连接件与本体相连接；第一转接部与连接件相连接，第一转接部用于安装打开和关闭基座的第一操作机构；第二转接部与连接件相连接，第二转接部用于安装抓取和释放半导体器件的第二操作机构；其中，当第一转接部驱动第一操作机构打开基座后，第二转接部能够驱动第二操作机构将半导体器件放入基座中，或将基座中的半导体器件取出。整个测试过程中机械臂实现了对半导体器件的自动抓取与释放，以及基座的自动打开与关闭，以此提高测试效率。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种机械臂及其组件、测试系统及方法、存储介质及电子设备。

背景技术

半导体结构需要进行大量的测试，以便剔除不合格的产品。在对半导体结构进行测试过程中，需要将半导体结构放入基座中，待测试完成后由基座中取出，相关技术中多通过人工参与，不仅效率低下，且劳动成本较高。

发明内容

本发明提供一种机械臂及其组件、测试系统及方法、存储介质及电子设备，以辅助半导体结构的测试。

根据本发明的第一个方面，提供了一种用于半导体结构测试的机械臂，包括本体和操作臂，操作臂包括：

连接件，连接件与本体相连接；

第一转接部，第一转接部与连接件相连接，第一转接部用于安装打开和关闭基座的第一操作机构；

第二转接部，第二转接部与连接件相连接，第二转接部用于安装抓取和释放半导体器件的第二操作机构；

其中，当第一转接部驱动第一操作机构打开基座后，第二转接部能够驱动第二操作机构将半导体器件放入基座中，或将基座中的半导体器件取出。

在本发明的一个实施例中，本体包括：

支撑件，支撑件用于将机械臂悬挂在空中；

运动件，运动件设置在支撑件上，且相对于支撑件可活动地设置；

其中，连接件与运动件相连接，连接件能够随运动件运动。

在本发明的一个实施例中，运动件相对于支撑件沿竖直方向可移动地设置，以驱动连接件沿靠近或远离基座的方向移动。

在本发明的一个实施例中，运动件相对于支撑件可转动地设置，以使连接件能够随运动件转动。

在本发明的一个实施例中，本体还包括：

第一壳体件，第一壳体件与支撑件相连接，运动件可活动地设置在第一壳体件内；

第二壳体件，第二壳体件与第一壳体件相连接，连接件可活动地设置在第二壳体件内，第一转接部和第二转接部能够随连接件运动。

在本发明的一个实施例中，连接件相对于运动件可活动地设置。

在本发明的一个实施例中，支撑件能够驱动机械臂在空中移动。

在本发明的一个实施例中，操作臂还包括：

旋转件，旋转件与连接件相连接，第一转接部和第二转接部均设置在旋转件上，以使第一转接部和第二转接部均通过旋转件与连接件相连接。

在本发明的一个实施例中，旋转件的至少部分相对于连接件可转动地设置，以使第一转接部和第二转接部均随旋转件可转动地设置；

其中，旋转件用于使第一操作机构和第二操作机构中的一个与基座相对设置。

在本发明的一个实施例中，操作臂为多个，多个操作臂依次设置在本体上。

在本发明的一个实施例中，多个操作臂环绕本体的周向方向设置。