[发明专利]沉积掩模

权利要求书

1.一种沉积掩模，包括金属板，所述金属板包括铁-镍(Fe-Ni)合金，

其中，所述金属板包括：有效区域，所述有效区域具有多个通孔和介于所述通孔之间的桥；以及设置在所述有效区域的外部处的非有效区域，以及

其中，每个通孔在连接部分中形成，在所述连接部分中，形成在第一表面中的第一表面孔与形成在第二表面中的第二表面孔接触，所述第二表面与所述第一表面相对，

其中，所述第二表面上所述第二表面孔的宽度大于所述第一表面上所述第一表面孔的宽度，

其中，所述第一表面孔的深度小于所述第二表面孔的深度，

其中，所述第一表面孔的深度被定义为从所述第一表面到所述连接部分的深度，

其中，所述第二表面孔的深度被定义为从所述第二表面到所述连接部分的深度，

其中，所述金属板包括：第一凹槽，所述第一凹槽设置在所述非有效区域中且位置靠近所述金属板的一个纵向端部；以及第二凹槽，所述第二凹槽位置靠近与所述一个纵向端部相对的另一个纵向端部，以及

其中，当在所述金属板的所述一个纵向端部和所述另一个纵向端部处在纵向方向上以0.7kgf的力拉伸所述金属板时，通过等式2计算的扭曲指数α在0.85至1.15的范围内，

等式2

其中，d1表示在介于所述第一凹槽和与所述第一凹槽相邻的有效区域之间的非有效区域处测量的所述金属板的宽度，

d2表示在介于所述第二凹槽和与所述第二凹槽相邻的有效区域之间的非有效区域处测量的所述金属板的宽度，以及

B表示在所述有效区域的中间点处测量的所述金属板的宽度。

2.根据权利要求1所述的沉积掩模，其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽的深度大于所述第一表面孔的深度并且小于所述第二表面孔的深度，

其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽形成在所述金属板的第一表面上，

其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽的中央部分的宽度大于外部部分的宽度。

3.根据权利要求1或2所述的沉积掩模，其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽包括直线部分以及连接到所述直线部分的弯曲部分，

其中，所述直线部分平行于垂直延伸的虚拟线，其中通过连接位于所述有效区域和所述非有效区域之间的边界处的所述第二表面孔的端部而形成所述垂直延伸的虚拟线，

其中，所述弯曲部分连接到所述直线部分的两端，并且在水平方向上相比于所述直线部分形成在外侧。

4.根据权利要求1或2所述的沉积掩模，其中，所述第一表面孔在所述第一表面中的开口区域的边缘部分处具有弯曲，

其中，通过增加所述边缘部分的倒圆部的弯曲而形成的虚拟圆的直径在5μm至20μm的范围内。

5.根据权利要求1或2所述的沉积掩模，其中，所述金属板的厚度在10μm至30μm的范围内。

6.根据权利要求1或2所述的沉积掩模，

其中，所述第一表面孔的宽度在20μm至50μm的范围内，

其中，所述第二表面孔的宽度在50μm至90μm的范围内，

其中，所述第一表面孔的深度在0.1μm至7μm的范围内，以及

其中，所述第二表面孔的深度在20μm至25μm的范围内。

7.根据权利要求1或2所述的沉积掩模，其中，所述桥包括第一桥部分和第二桥部分，所述第一桥部分支撑在所述金属板的第一表面中设置的第一表面孔之间的部分，所述第二桥部分支撑在所述金属板的第二表面中设置的第二表面孔之间的部分，其中，所述第一表面上的所述第一桥部分的宽度宽于所述第二表面上的所述第二桥部分的宽度。

8.根据权利要求7所述的沉积掩模，其中，所述第一桥部分的宽度在20μm至50μm的范围内，所述第二桥部分的宽度在0.5μm至7μm的范围内。

9.根据权利要求1或2所述的沉积掩模，其中，所述第一表面孔的深度与所述金属板的厚度的关系比率是1：(3至30)。