[发明专利]气体感测器

说明书

本发明提供了一种气体感测器。上述气体感测器包括一半导体基底、一第一指状电极、一第二指状电极、一第三指状电极、一第一半导体层与一第二半导体层。上述第三指状电极设置在上述第一指状电极以及上述第二指状电极之间。上述第一半导体层形成在上述第一指状电极的多个第一延伸部分以及上述第三指状电极的多个第三延伸部分之间。上述第二半导体层形成在上述第二指状电极的多个第二延伸部分以及上述第三指状电极的多个第四延伸部分之间。上述第一半导体层与上述第二半导体层是由不同材料所形成。

技术领域

本发明有关于一种气体感测器，且特别有关于一种具有多个感测单元的气体感测器。

背景技术

现今，日益严重的空气污染已对人类的日常生活与健康造成影响。在空气污染逐渐增加的情况下，需要通过气体感测器来随时检测空气是否异常。气体感测器可用于检测特定气体存在，例如检测一氧化碳、二氧化硫及乙醇等气体。举例而言，在日常生活中常有一氧化碳产生，例如车辆或工厂所排放的废气等。一氧化碳为无色、无味且无刺激性的气体，无法观察而知。因此，需用使用气体感测器来进行检测。此外，气体感测器也可用于检测环境湿度。使用者可藉由使用气体感测器来检测环境湿度，以便能控制周边环境在适宜的湿度下。

因此，需要提升气体感测器的线性度与灵敏度，并增加精确度。

发明内容

本发明提供一种气体感测器。上述气体感测器包括一半导体基底、一第一指状电极、一第二指状电极、一第三指状电极、一第一半导体层与一第二半导体层。上述第一指状电极形成在上述半导体基底上，并具有一第一主体部分以及多个第一延伸部分。上述第二指状电极形成在上述半导体基底上，并具有一第二主体部分以及多个第二延伸部分。上述第三指状电极形成在上述半导体基底上，且设置在上述第一指状电极以及上述第二指状电极之间，并具有一第三主体部分以及多个第三延伸部分以及多个第四延伸部分。上述第一半导体层形成在上述第一指状电极的上述第一延伸部分以及上述第三指状电极的上述第三延伸部分之间，且接触上述第一延伸部分以及上述第三延伸部分。上述第二半导体层形成在上述第二指状电极的上述第二延伸部分以及上述第三指状电极的上述第四延伸部分之间，且接触上述第二延伸部分以及上述第四延伸部分。上述第一半导体层与上述第二半导体层是由不同材料所形成。

再者，本发明提供一种气体感测器。上述气体感测器包括一半导体基底、一第一指状电极、一第二指状电极、一第一半导体层与一第二半导体层。上述第一指状电极形成在上述半导体基底上，并具有一第一主体部分、多个第一延伸部分以及多个第二延伸部分。上述第二指状电极形成在上述半导体基底上，并具有一第二主体部分以及多个第三延伸部分以及多个第四延伸部分。上述第一半导体层形成在上述第一指状电极的上述第一延伸部分以及上述第二指状电极的上述第三延伸部分之间，且接触上述第一延伸部分以及上述第三延伸部分。上述第二半导体层形成在上述第一指状电极的上述第二延伸部分以及上述第二指状电极的上述第四延伸部分之间，且接触上述第二延伸部分以及上述第四延伸部分。上述第一半导体层与上述第二半导体层是由不同材料所形成，以及上述第一半导体层是分离于上述第二半导体层。

再者，本发明提供一种气体感测器。上述气体感测器包括一N型气体感测元件、一P型气体感测元件、一开关以及一读取电路。上述N型气体感测元件耦接于一第一节点以及一接地端之间。上述P型气体感测元件耦接于上述第一节点以及上述接地端之间。上述开关耦接于上述第一节点以及上述N型气体感测元件之间。上述读取电路耦接于上述第一节点，并根据上述第一节点的电压或电流来控制上述开关是否导通。

附图说明

图1显示根据本发明一些实施例所述的整合式气体感测器的示意图。

图2A显示根据本发明一些实施例所述的图1中气体感测单元的结构。

图2B显示根据本发明一些实施例所述的图2A中气体感测单元的等效电路。

图3显示根据本发明一些实施例所述的气体感测单元的输出与相对湿度的关系。