[发明专利]一种ALD自动化上下料机用输送机构

权利要求书

1.一种ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于，包括支撑框架（1）、导向滚轮（2）、轴承支撑座（3）、驱动马达（4）、传动轴（5）、输送滚轮（6）和到位检查光电开关（7），所述支撑框架（1）的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个导向滚轮（2），所述支撑框架（1）的端面一侧设置有驱动马达（4），所述支撑框架（1）的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个轴承支撑座（3），所述轴承支撑座（3）之间插接安装有传动轴（5），且靠近驱动马达（4）一侧的传动轴（5）的一端与驱动马达（4）连接，所述传动轴（5）的外侧套接安装有两个输送滚轮（6），所述支撑框架（1）的两侧位于传动轴（5）的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关（7）。

2.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于，所述支撑框架（1）的顶部中央设置有辅助支撑架，且六个所述轴承支撑座（3）的底部通过螺栓固定与辅助支撑架的顶部端面固定连接。

3.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于，所述支撑框架（1）的一侧端面通过螺栓固定安装有传动板，且靠近驱动马达（4）一侧的传动轴（5）的一端贯穿传动板。

4.根据权利要求3所述的ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于，所述驱动马达（4）的底部连接安装有变速器，且变速器固定安装在传动板的一侧，所述驱动马达（4）的驱动轴与变速器的动力输入轴连接，所述变速器的动力输出轴与贯穿传动板的传动轴（5）的一端固定连接。

5.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于，所述轴承支撑座（3）的端面中央固定安装有传动轴承，且传动轴（5）的两端外壁均与传动轴承的内壁贴合连接。

6.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于，所述支撑框架（1）的底部两侧端面均通过螺栓固定安装有缓冲支架。