[发明专利]一种ALD自动化上下料机用输送机构

说明书

本发明公开了一种ALD自动化上下料机用输送机构，包括支撑框架、导向滚轮、轴承支撑座、驱动马达、传动轴、输送滚轮和到位检查光电开关，所述支撑框架的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个导向滚轮，所述支撑框架的端面一侧设置有驱动马达，所述支撑框架的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个轴承支撑座，所述轴承支撑座之间插接安装有传动轴，且靠近驱动马达一侧的传动轴的一端与驱动马达连接；所述支撑框架的两侧位于传动轴的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关；该ALD自动化上下料机用输送机构，结构稳定，支撑牢固；具有稳定的传输输送能力，同时，导向效果好，能够有效避免输送物料发生偏移的情况。

技术领域

本发明涉及自动化上下料机设备领域，具体为一种ALD自动化上下料机用输送机构。

背景技术

硅片在加工时需要使用到自动化上下料机进行上料和下料；在输送的过程中，会使用到输送机构将硅片进行输送；现有技术中的输送机构，结构简陋，功能单一，在输送时，容易导致硅片输送偏移，使得硅片脱离输送机构，因此，设计一种ALD自动化上下料机用输送机构是很有必要的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种ALD自动化上下料机用输送机构，结构稳定，支撑牢固；具有稳定的传输输送能力，同时，导向效果好，能够有效避免输送物料发生偏移的情况。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种ALD自动化上下料机用输送机构，包括支撑框架、导向滚轮、轴承支撑座、驱动马达、传动轴、输送滚轮和到位检查光电开关，所述支撑框架的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个导向滚轮，所述支撑框架的端面一侧设置有驱动马达，所述支撑框架的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个轴承支撑座，所述轴承支撑座之间插接安装有传动轴，且靠近驱动马达一侧的传动轴的一端与驱动马达连接，所述传动轴的外侧套接安装有两个输送滚轮，所述支撑框架的两侧位于传动轴的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关。

作为本发明进一步的方案：所述支撑框架的顶部中央设置有辅助支撑架，且六个所述轴承支撑座的底部通过螺栓固定与辅助支撑架的顶部端面固定连接。

作为本发明进一步的方案：所述支撑框架的一侧端面通过螺栓固定安装有传动板，且靠近驱动马达一侧的传动轴的一端贯穿传动板。

作为本发明进一步的方案：所述驱动马达的底部连接安装有变速器，且变速器固定安装在传动板的一侧，所述驱动马达的驱动轴与变速器的动力输入轴连接，所述变速器的动力输出轴与贯穿传动板的传动轴的一端固定连接。

作为本发明进一步的方案：所述轴承支撑座的端面中央固定安装有传动轴承，且传动轴的两端外壁均与传动轴承的内壁贴合连接。

作为本发明进一步的方案：所述支撑框架的底部两侧端面均通过螺栓固定安装有缓冲支架。

本发明的有益效果：该ALD自动化上下料机用输送机构，整体结构稳定，支撑牢固，在输送的过程中，具有稳定的传输输送能力，同时，通过支撑框架顶部两侧安装的导向滚轮和到位检查光电开关，能够有效对输送物料进行导向输送，导向效果好，不仅能够有效避免输送物料发生偏移，而且，也能够保证物料输送的准确性。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明整体俯视图；

图中：1、支撑框架；2、导向滚轮；3、轴承支撑座；4、驱动马达；5、传动轴；6、输送滚轮；7、到位检查光电开关。

具体实施方式

下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。