[发明专利]一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法在审

专利信息
申请号: 202110113837.7 申请日: 2021-01-27
公开(公告)号: CN112941485A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 黄建威 申请(专利权)人: 黄建威
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/50
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510000 广东省广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 高效 真空镀膜 设备 镀膜 方法
【权利要求书】:

1.一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法,其特征在于:该方法的具体步骤为:

步骤一:先将需镀膜板进行清洁干燥;

步骤二:再将镀膜板放入镀膜设备中进行镀膜;

步骤三:镀膜完成后,等待一段时间,镀膜设备将镀膜板送出;

步骤四:取出镀膜板完成镀膜;

其中,步骤二和步骤三中的镀膜设备,包括镀膜箱(1),所述镀膜箱(1)顶部开设有进料口(2),所述进料口(2)内部滑动连接有升降支架(3),所述镀膜箱(1)顶部连接有用于驱动升降支架(3)上下移动的送料机构,所述升降支架(3)内部滑动连接有两个第一滑动杆(4),两个所述第一滑动杆(4)底端均固定连接有电动夹爪(5),所述第一滑动杆(4)顶端固定连接有挡盘(6),所述第一滑动杆(4)外表面上套设有第一弹簧(7),所述第一弹簧(7)一端固定连接在挡盘(6)底面上,另一端固定连接在升降支架(3)的顶部,两个所述电动夹爪(5)左侧壁上均固定连接有第一挡板(8),所述镀膜箱(1)内部底面固定连接有第一导轨(9),所述第一导轨(9)内部连接有配合升降支架(3)夹紧镀膜板的夹紧机构,所述镀膜箱(1)内部顶面固定连接有两个第一气弹簧(10),两个所述第一气弹簧(10)连接有用于限定自身位置的定位机构,两个所述第一气弹簧(10)底端共同固定连接有升降推板(11),所述升降推板(11)位于第一挡板(8)的底部,所述镀膜箱(1)左侧壁上连通有第一通管(12),所述第一通管(12)左端连通有真空泵(13),所述第一通管(12)内部连接有用于使升降推板(11)在抽真空时将电动夹爪(5)推离镀膜板的顶起机构。

2.根据权利要求1所述的一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法,其特征在于:所述顶起机构包括第一连接板(14),所述第一连接板(14)固定连接在第一通管(12)的右端面上,所述第一连接板(14)内部转动连接有第一转杆(15),所述第一转杆(15)左端固定连接有扇叶(16),所述第一转杆(15)右端固定连接有第一齿轮(17),所述镀膜箱(1)内部顶面固定连接有第二连接板(18),所述镀膜箱(1)和第二连接板(18)共同转动连接有水平布置的第二转杆(19),所述第二转杆(19)外表面上固定连接有第二齿轮(20),所述第二齿轮(20)通过第一齿链(21)与第一齿轮(17)传动连接,所述第二转杆(19)右端固定连接有第三齿轮(22),所述升降推板(11)左侧壁上固定连接第一齿条(23),所述第一齿条(23)与第三齿轮(22)啮合。

3.根据权利要求2所述的一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法,其特征在于:定位机构包括定位槽(24),所述定位槽(24)开设在第一气弹簧(10)伸出部侧壁上,所述第一气弹簧(10)右侧壁上固定连接有第一支撑杆(25),所述第一支撑杆(25)贯穿有与其滑动连接的第一滑动板(26),所述第一支撑杆(25)外表面上套设有第二弹簧(27),所述第二弹簧(27)一端固定连接在第一滑动板(26)左侧壁上,另一端固定连接在第一气弹簧(10)的外侧壁上,所述第一滑动板(26)底端固定连接有L型定位板(28),所述第一挡板(8)内侧壁上固定连接有第二挡板(29),所述L型定位板(28)位于第二挡板(29)的右侧。

4.根据权利要求3所述的一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法,其特征在于:所述夹紧机构包括两个L型升降板(30),所述L型升降板(30)滑动连接在第一导轨(9)内,两个所述L型升降板(30)底部固定连接有第三弹簧(31),所述第三弹簧(31)底端固定连接在第一导轨(9)的底面上,所述第一导轨(9)顶部固定连接有L型导向板(32),所述镀膜箱(1)内部前后侧壁上均固定连接有第二气弹簧(33),所述第二气弹簧(33)内端固定连接有第一夹持板(34),所述第一夹持板(34)左侧壁上固定连接有第二导向块(35),所述L型导向板(32)与第二导向块(35)相接触。

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