[发明专利]一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法

说明书

本发明公开了真空镀膜技术领域的一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法，该方法的具体步骤为：步骤一：先将需镀膜板进行清洁干燥；步骤二：再将镀膜板放入镀膜设备中进行镀膜；步骤三：镀膜完成后，等待一段时间，镀膜设备将镀膜板送出；步骤四：取出镀膜板完成镀膜；本发明通过在每次利用电动夹爪将镀膜板夹持送入镀膜箱后，利用真空泵抽真空时，利用镀膜箱内气体被抽出时带动扇叶进行转动，在通过顶起机构传动提前将电动夹爪抬升，避免电动夹爪阻挡在镀膜板的前后面，保证镀膜板能被彻底的镀膜。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。

现有技术中公开的真空镀膜设备发明案件中，发明专利申请号为CN201611003972.1的中国专利，一种真空镀膜箱设备，包括镀膜箱、自动门机构和自动门顶起机构，所述镀膜箱的前侧开口，镀膜箱的开口侧安装有自动门机构，自动门顶起机构安装在镀膜箱的右侧，自动门顶起机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接。

现有技术中在对镀膜板进行双面镀膜时，需要利于夹持机构将镀膜板送入镀膜箱内，并利用定位机构将镀膜板夹持定位，但是夹持机构和定位机构均会与镀膜板进行接触，尤其是夹持机构在夹持镀膜板时，夹爪会挡住镀膜板较为重要的前后需要镀膜的面，导致镀膜板无法全面被镀膜，影响镀膜的效果。

基于此，本发明设计了一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法，以解决上述背景技术中提出了现有技术中在对镀膜板进行双面镀膜时，需要利于夹持机构将镀膜板送入镀膜箱内，并利用定位机构将镀膜板夹持定位，但是夹持机构和定位机构均会与镀膜板进行接触，尤其是夹持机构在夹持镀膜板时，夹爪会挡住镀膜板较为重要的前后需要镀膜的面，导致镀膜板无法全面被镀膜，影响镀膜的效果的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高效型真空镀膜设备的镀膜方法，该方法的具体步骤为：

步骤一：先将需镀膜板进行清洁干燥；

步骤二：再将镀膜板放入镀膜设备中进行镀膜；

步骤三：镀膜完成后，等待一段时间，镀膜设备将镀膜板送出；

步骤四：取出镀膜板完成镀膜；

其中，步骤二和步骤三中的镀膜设备，包括镀膜箱，所述镀膜箱顶部开设有进料口，所述进料口内部滑动连接有升降支架，所述镀膜箱顶部连接有用于驱动升降支架上下移动的送料机构，所述升降支架内部滑动连接有两个第一滑动杆，两个所述第一滑动杆底端均固定连接有电动夹爪，所述第一滑动杆顶端固定连接有挡盘，所述第一滑动杆外表面上套设有第一弹簧，所述第一弹簧一端固定连接在挡盘底面上，另一端固定连接在升降支架的顶部，两个所述电动夹爪左侧壁上均固定连接有第一挡板，所述镀膜箱内部底面固定连接有第一导轨，所述第一导轨内部连接有配合升降支架夹紧镀膜板的夹紧机构，所述镀膜箱内部顶面固定连接有两个第一气弹簧，两个所述第一气弹簧连接有用于限定自身位置的定位机构，两个所述第一气弹簧底端共同固定连接有升降推板，所述升降推板位于第一挡板的底部，所述镀膜箱左侧壁上连通有第一通管，所述第一通管左端连通有真空泵，所述第一通管内部连接有用于使升降推板在抽真空时将电动夹爪推离镀膜板的顶起机构；