[发明专利]反应堆用大长径比管材真空镀膜机的工件架及其镀膜机有效

专利信息
申请号: 202110117962.5 申请日: 2021-01-28
公开(公告)号: CN112899636B 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 张瑞谦;王昱;陈寰;张超;邱绍宇;褚家宝;熊凯 申请(专利权)人: 中国核动力研究设计院
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 张严芳
地址: 610000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 反应堆 长径 管材 真空镀膜 工件 及其 镀膜
【权利要求书】:

1.反应堆用大长径比管材真空镀膜机,其特征在于,包括平移门(2)、真空腔(1)、弧源和工件架(3),所述弧源设置在所述真空腔(1)的内侧壁,所述工件架(3)设置在所述平移门(2)上,所述平移门(2)和所述真空腔(1)可拆卸连接;

所述工件架(3)包括公转组件和自转组件,所述公转组件包括大转盘(38)和大齿轮(37),所述大转盘(38)和大齿轮(37)通过轴连接,所述大转盘(38)位于所述大齿轮(37)的下方,所述自转组件包括小齿轮(310)和自转轴(35),所述小齿轮(310)与所述大齿轮(37)啮合,所述自转轴(35)与所述大转盘(38)连接,所述自转轴(35)上安装工件(33);

所述真空腔(1)包括一边开设有门口,所述门口通过平移门(2)密封,所述工件架(3)通过上支撑(31)柱与平移门(2)的顶部连接,所述工件架(3)的下端通过下支撑(32)柱与所述平移门(2)的下端连接,所述平移门(2)所述平移门(2)包括门板(21),所述门板(21)上设置有主加强筋(23)和辅加强筋,所述门板(21)通过两侧支撑(27)与底部导向轮(210)相连后座于导轨(8)上,所述门板(21)的底部设置有防倾覆搭板(29)。

2.根据权利要求1所述的反应堆用大长径比管材真空镀膜机,其特征在于,所述弧源包括第一弧源和补偿弧源,所述第一弧源在所述真空腔(1)的内侧壁呈多列错位分布,所述补偿弧源位于第一弧源的底部和顶部。

3.根据权利要求1或2所述的反应堆用大长径比管材真空镀膜机,其特征在于,每一列弧源均设置有弧源挡板(5),所述弧源挡板(5)包括气缸(51)、焊接波纹管(52)和挡板单元(53),所述焊接波纹管(52)连接所述气缸(51)和所述挡板单元(53),所述挡板单元(53)为多个,相邻挡板单元(53)之间通过连接板(54)串联,所述挡板单元(53)的两侧设置有导向杆(55)。

4.根据权利要求1所述的反应堆用大长径比管材真空镀膜机,其特征在于,所述上支撑(31)柱下方设有第一陶瓷绝缘垫(311),所述下支撑(32)柱与导向轴(312)之间设置有第二陶瓷绝缘垫(313)。

5.根据权利要求1所述的反应堆用大长径比管材真空镀膜机,其特征在于,所述真空腔(1)的内侧壁还设置有铠装加热器(6),所述铠装加热器(6)呈多列分布,其中所述真空腔(1)分布有几列第一铠装加热器(6),所述门板(21)上设置有几列第二铠装加热器(6),每列所述铠装加热器(6)包括相互连接的上部加热器、中部加热器和下部加热器。

6.根据权利要求5所述的反应堆用大长径比管材真空镀膜机,其特征在于,所述真空腔(1)的内侧壁设置有第一滑槽,所述第一铠装加热器(6)与所述第一滑槽滑动连接,所述门板(21)的内侧壁设置有第二滑槽,所述第二铠装加热器(6)与所述第二滑槽滑动连接。

7.根据权利要求1或2所述的反应堆用大长径比管材真空镀膜机,其特征在于,所述真空腔(1)的外表面设置有冷却水道(15),所述真空腔(1)通过弧源接口(17)连接弧源,部分所述冷却水道(15)围合所述弧源接口(17)。

8.根据权利要求1所述的反应堆用大长径比管材真空镀膜机,其特征在于,所述大转盘(38)通过柱体连接有第二转动件,所述第二转动件上设置有下端套管(36),所述工件(33)的一端通过夹具(34)固定于所述自转轴(35)上,所述工件(33)的另一端延伸至所述下端套管(36)中且不抵触到下端套管(36)的底部。

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