[发明专利]反应堆用大长径比管材真空镀膜机的工件架及其镀膜机

说明书

本发明公开了反应堆用大长径比管材真空镀膜机的工件架及其镀膜机，解决了现有的核反应堆用的大长径比的锆管镀膜所用的镀膜机的加热均匀性、电弧均匀性不好以及密封性不好，从而导致镀层要么结合力不足，要么均匀性不足，要么稳定性不足的技术问题。本发明包括公转组件和自转组件，所述公转组件包括大转盘和大齿轮，所述大转盘和大齿轮通过轴连接，所述大转盘位于所述大齿轮的下方，所述自转组件包括小齿轮和自转轴，所述小齿轮与所述大齿轮啮合，所述自转轴与所述大转盘连接，所述自转轴上安装工件。本发明具有镀膜均匀、结合力好等优点。

技术领域

本发明涉及管材镀膜技术领域，具体涉及反应堆用大长径比管材真空镀膜机的工件架及其镀膜机。

背景技术

对于大长径比管件或长板的镀膜，国内外目前主要采用的是大型立式真空镀膜装备，基于的真空技术为主的磁控、阴极电弧等技术，在长板、管材等工件上镀装饰膜，可以完成金黄色、玫瑰金等颜色装饰。

虽然出现了大长径比管件的立式镀膜，然而，在核反应堆锆管外表面镀层对镀层则提出了苛刻的要求，现有技术中的镀膜系统中，由于管件的尺寸长，在真空度的保持和加热均匀性以及镀膜的过程中的其它因素影响，使得要么镀层结合力不足，要么均匀性不足，要么稳定性不足等等，亟需一种综合解决方案，能够起到全面优秀的镀层效果。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：现有的核反应堆用的大长径比的锆管镀膜所用的镀膜机的加热均匀性、电弧均匀性不好以及密封性不好，从而导致镀层要么结合力不足，要么均匀性不足，要么稳定性不足。

本发明通过下述技术方案实现：

反应堆用大长径比管材真空镀膜机的工件架，包括公转组件和自转组件，

所述公转组件包括大转盘和大齿轮，所述大转盘和大齿轮通过轴连接，所述大转盘位于所述大齿轮的下方，

所述自转组件包括小齿轮和自转轴，所述小齿轮与所述大齿轮啮合，所述自转轴与所述大转盘连接，所述自转轴上安装工件。

本发明通过设置自转组件和公转组件，且由公转带动自转，实现了工件的自转和公转，避免细长管因为旋转而产生变形，并且使得工件镀膜以及加热时，更为均匀，镀膜效果更好。

本发明优选的反应堆用大长径比管材真空镀膜机的工件架，所述大转盘通过柱体连接有第二转动件，所述第二转动件上设置有下端套管，所述工件的一端通过夹具固定于所述自转轴上，所述工件的另一端延伸至所述下端套管中且不抵触到下端套管的底部。

本发明的下端套管的设计，预留充分的余量，在工艺实施的过程中，由于温度的变化，管材可以自由的热胀冷缩。这种设计有效的避免了管材在工艺实施过程的变形，保障管材镀膜后仍能具有优良的直线度。

反应堆用大长径比管材真空镀膜机，包括平移门、真空腔、弧源和上述工件架，所述弧源设置在所述真空腔的内侧壁，所述工件架设置在所述平移门上，所述平移门和所述真空腔可拆卸连接。