[发明专利]偏振分光棱镜的测试系统及测试方法

权利要求书

1.一种偏振分光棱镜的测试系统，其特征在于，包括依次间隔设置的光源组件、光阑、偏振组件、样品台和探测组件，所述光阑用于调节光斑尺寸，所述偏振组件用于透射P偏振光或S偏振光，所述样品台用于放置待测试样品，所述探测组件用于接收并检测所述P偏振光或S偏振光，所述光源组件发射的光束依次穿过所述光阑、偏振组件、待测试样品和所述探测组件。

2.如权利要求1所述的偏振分光棱镜的测试系统，其特征在于，所述光源组件包括间隔设置的第一光源和第一准直镜，所述第一准直镜位于所述第一光源和所述光阑之间。

3.如权利要求2所述的偏振分光棱镜的测试系统，其特征在于，所述光源组件还包括第二光源、第二准直镜和合束棱镜，所述第一光源、第一准直镜、合束棱镜和所述光阑沿第一方向依次间隔设置，所述第二光源、第二准直镜和所述合束棱镜沿第二方向依次间隔设置，所述合束棱镜用于将所述第一光源和所述第二光源的光束合成一条沿所述第一方向的光束。

4.如权利要求3所述的偏振分光棱镜的测试系统，其特征在于，所述光源组件还包括第三光源和第三准直镜，所述第三光源、第三准直镜和所述合束棱镜沿所述第二方向依次间隔设置，所述第二准直镜和所述第三准直镜分别位于所述合束棱镜的相对两侧，所述合束棱镜用于将所述第一光源、第二光源和所述第三光源的光束合成一条沿所述第一方向的光束。

5.如权利要求2所述的偏振分光棱镜的测试系统，其特征在于，所述光源组件还包括第二光源、第二准直镜和第一滤光片，所述第一光源、第一准直镜和第一滤光片沿第一方向依次间隔设置，所述第二光源、第二准直镜和所述第一滤光片沿第二方向依次间隔设置，所述第一滤光片用于透射所述第一光源的光束，以及用于将所述第二光源的光束沿所述第一方向反射。

6.如权利要求5所述的偏振分光棱镜的测试系统，其特征在于，所述光源组件还包括沿所述第二方向依次间隔设置的第三光源、第三准直镜和第三滤光片，所述第一滤光片、第二滤光片和所述光阑沿所述第一方向依次间隔设置，所述第二滤光片用于透射所述第一光源的光束，以及用于将所述第三光源的光束沿所述第一方向反射。

7.如权利要求1～6中任一项所述的偏振分光棱镜的测试系统，其特征在于，所述偏振组件包括第一起偏器，所述第一起偏器位于所述光阑和所述样品台之间，所述第一起偏器用于透射所述P偏振光和所述S偏振光中的任意一者。

8.如权利要求7所述的偏振分光棱镜的测试系统，其特征在于，所述偏振组件还包括第二起偏器，所述光阑、第一起偏器、第二起偏器和所述样品台依次间隔设置，所述第二起偏器用于截止所述P偏振光和所述S偏振光中的另一者。

9.如权利要求1～6中任一项所述的偏振分光棱镜的测试系统，其特征在于，所述探测组件包括第一功率计探头和第二功率计探头，所述第一功率计探头用于检测所述偏振分光棱镜透射的所述P偏振光或所述S偏振光的功率，所述第二功率计探头用于检测所述偏振分光棱镜反射的所述P偏振光或所述S偏振光的功率。

10.一种偏振分光棱镜的测试方法，其特征在于，采用如权利要求1～9中任一项所述的偏振分光棱镜的测试系统进行测试，所述偏振分光棱镜的测试方法包括以下步骤：

根据所述待测试样品的尺寸调节所述光阑的孔径；

将所述偏振组件调整为透射所述光源组件的光束的P偏振光，采用所述探测组件检测经过所述样品台上的所述待测试样品透射或反射的P偏振光，计算得到所述待测试样品的P偏振光的透射率或反射率；或者，

将所述偏振组件调整为透射所述光源组件的光束的S偏振光，采用所述探测组件检测经过所述样品台上的所述待测试样品透射或反射的S偏振光，计算得到所述待测试样品的S偏振光的透射率或反射率。