[发明专利]偏振分光棱镜的测试系统及测试方法

说明书

本发明公开了一种偏振分光棱镜的测试系统及测试方法，其中，所述测试系统包括依次间隔设置的光源组件、光阑、偏振组件、样品台和探测组件，所述光阑用于调节光斑尺寸，所述偏振组件用于透射P偏振光或S偏振光，所述样品台用于放置待测试样品，所述探测组件用于接收并检测所述P偏振光或S偏振光，所述光源组件发射的光束依次穿过所述光阑、偏振组件、待测试样品和所述探测组件。该测试系统结构简单，降低了检测成本，测试较小尺寸的偏振分光棱镜时，可通过光阑调整光斑尺寸，得到较小的光斑，保证测试光能够全部打入偏振分光棱镜，提高了测试精度。

技术领域

本发明涉及光学测试系统技术领域，尤其涉及一种偏振分光棱镜的测试系统及测试方法。

背景技术

偏振分光棱镜是一种用于分离光线的水平偏振和垂直偏振的光学元件。偏振分光棱镜是通过在直角棱镜的斜面镀制多层膜结构，然后胶合成一个立方体结构，入射光中的P偏振光透射，而S偏振光反射。对于具有偏振分光棱镜的光学仪器，例如LCOS(LiquidCrystal on Silicon，液晶附硅)投影光机，偏振分光棱镜对整个光机的亮度、对比度的性能影响极大，因此我们需要在产品、样品分析、批量来料检查等阶段对偏振分光棱镜的偏振分光性能进行检测，测试其对P偏振光或S偏振光的透射和反射的比例。但是，目前可直接用于偏振分光棱镜的偏振分光测试设备为分光光度计，但是分光光度计价格昂贵，且采购一台如此昂贵的设备专门只用于偏振分光测试，显然是一种浪费。而且对于微型光学仪器(例如LCOS投影仪)所搭配的偏振分光棱镜的尺寸较小，分光光度计对于尺寸较小的偏振分光棱镜容易出现光斑过大，导致测试数据不准，探测精度不高的问题。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种偏振分光棱镜的测试系统及测试方法，旨在解决用于测试偏振分光棱镜偏振分光性能的设备成本高，且对较小尺寸的偏振分光棱镜的探测精度不高的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种偏振分光棱镜的测试系统，包括依次间隔设置的光源组件、光阑、偏振组件、样品台和探测组件，所述光阑用于调节光斑尺寸，所述偏振组件用于透射P偏振光或S偏振光，所述样品台用于放置待测试样品，所述探测组件用于接收并检测所述P偏振光或S偏振光，所述光源组件发射的光束依次穿过所述光阑、偏振组件、待测试样品和所述探测组件。

优选地，所述光源组件包括间隔设置的第一光源和第一准直镜，所述第一准直镜位于所述第一光源和所述光阑之间。

优选地，所述光源组件还包括第二光源、第二准直镜和合束棱镜，所述第一光源、第一准直镜、合束棱镜和所述光阑沿第一方向依次间隔设置，所述第二光源、第二准直镜和所述合束棱镜沿第二方向依次间隔设置，所述合束棱镜用于将所述第一光源和所述第二光源的光束合成一条沿所述第一方向的光束。

优选地，所述光源组件还包括第三光源和第三准直镜，所述第三光源、第三准直镜和所述合束棱镜沿所述第二方向依次间隔设置，所述第二准直镜和所述第三准直镜分别位于所述合束棱镜的相对两侧，所述合束棱镜用于将所述第一光源、第二光源和所述第三光源的光束合成一条沿所述第一方向的光束。

优选地，所述光源组件还包括第二光源、第二准直镜和第一滤光片，所述第一光源、第一准直镜和第一滤光片沿第一方向依次间隔设置，所述第二光源、第二准直镜和所述第一滤光片沿第二方向依次间隔设置，所述第一滤光片用于透射所述第一光源的光束，以及用于将所述第二光源的光束沿所述第一方向反射。

优选地，所述光源组件还包括沿所述第二方向依次间隔设置的第三光源、第三准直镜和第三滤光片，所述第一滤光片、第二滤光片和所述光阑沿所述第一方向依次间隔设置，所述第二滤光片用于透射所述第一光源的光束，以及用于将所述第三光源的光束沿所述第一方向反射。

优选地，所述偏振组件包括第一起偏器，所述第一起偏器位于所述光阑和所述样品台之间，所述第一起偏器用于透射所述P偏振光和所述S偏振光中的一者。