[发明专利]衬底处理装置及衬底处理系统

权利要求书

1.一种衬底处理装置，具备：

处理容器主体，具有内部空间及开口，所述内部空间可收容衬底，所述开口与所述内部空间连通，用来使所述衬底通过；

盖部，可堵塞所述开口；

移动部，使所述盖部相对于所述开口相对移动，利用所述盖部将所述开口打开及关闭；以及

锁定机构，将所述盖部锁定在所述处理容器主体；且

所述移动部使所述盖部相对于所述处理容器主体的相对位置在堵塞位置与离开位置之间变化，此处，

所述堵塞位置是所述盖部接近所述处理容器主体而堵塞所述开口的位置，

所述离开位置是所述盖部朝对于所述开口而言与所述内部空间相反的方向、且与所述开口之间隔开用来使向所述内部空间搬送的所述衬底通过的间隙空间而离开的位置，

所述锁定机构具有：

臂部，在所述处理容器主体及所述盖部中的一侧，向另一侧延设；以及

卡止部，当所述盖部位于所述堵塞位置时与所述臂部卡合，限制所述臂部的位移；

所述臂部在所述盖部位于所述离开位置时，前端超出所述间隙空间延伸至所述另一侧，

供所述卡止部卡合的所述臂的部位是所述臂部中当所述盖部位于所述离开位置时位于超出所述间隙空间的位置的部位。

2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中所述臂部在俯视时延设至比所述开口更靠外侧。

3.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其中1对所述臂部隔着所述间隙空间设置，所述卡止部与所述1对所述臂部的每一个卡合。

4.根据权利要求3所述的衬底处理装置，其中所述卡止部中，单一的卡止构件与所述1对臂部的两者卡合。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的衬底处理装置，其中所述臂部安装于所述盖部，所述移动部使所述盖部与所述臂部一体移动。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的衬底处理装置，其中所述开口设置在所述处理容器主体的侧面，所述盖部相对于所述处理容器主体的相对移动方向为水平方向，所述衬底以水平姿势搬入所述内部空间中。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的衬底处理装置，其中将所述衬底保持为水平姿势的衬底保持部安装于所述盖部，所述衬底保持部与所述衬底一起被收容在所述内部空间中。

8.根据权利要求7所述的衬底处理装置，其中当所述盖部位于所述离开位置时，所述衬底保持部位于所述间隙空间。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的衬底处理装置，其具备流体供给部，所述流体供给部向所述内部空间供给超临界状态的处理流体。

10.一种衬底处理系统，具备：

根据权利要求1至4中任一项所述的衬底处理装置；

搬送装置，向所述间隙空间搬送所述衬底；以及

送气装置，从所述间隙空间的上方向所述间隙空间供给降流。