[发明专利]激光直写式成像设备

权利要求书

1.一种激光直写式成像设备，其特征在于，包括成像设备本体(1000)，所述成像设备本体(1000)包括：

基座(200)；

支撑组件，所述支撑组件固定安装于所述基座(200)上；所述支撑组件包括横梁(320)、第一支撑柱(310)和第二支撑柱(330)，所述第一支撑柱(310)与第二支撑柱(330)的一端固定安装于所述基座(200)上，所述第一支撑柱(310)与第二支撑柱(330)的另一端分别固定连接所述横梁(320)的两端，所述横梁(320)位于所述基座(200)的上方；

所述横梁(320)上设有一镂空区域(3201)；

传输机构，所述传输机构位于所述横梁(320)的下方，所述传输机构包括第一导轨组件与载台组件(100)，所述第一导轨组件固定安装于所述基座(200)上，所述第一导轨组件包括第一导轨(410)、第一驱动组件和第一滑块；所述第一滑块与载台组件(100)固定连接，所述第一滑块与第一导轨(410)滑动连接，所述载台组件(100)跟随所述第一滑块在所述第一驱动组件的驱动力下沿所述导轨方向做往复运动；

对位机构，所述对位机构安装于所述横梁(320)的侧边，所述对位机构用于对所述载台组件(100)上的待蚀刻产品进行对位；

激光机构，所述激光机构包括第二导轨组件、激光组件(640)和第一安装板(610)，所述激光组件(640)固定安装于所述第一安装板(610)上；所述第二导轨组件包括第二导轨(630)、第二驱动组件(620)和第二滑块，所述第二导轨(630)与第二滑块滑动连接，所述第二导轨(630)与第二驱动组件(620)固定安装于所述横梁(320)上，所述第二滑块与第一安装板(610)固定连接；所述激光组件(640)在所述第二驱动组件(620)的驱动力下在所述镂空区域(3201)内沿所述第二导轨(630)方向做往复运动。

2.如权利要求1所述的激光直写式成像设备，其特征在于，所述成像设备本体(1000)至少包括两个传输机构，两个所述传输机构相邻固定安装于所述基座(200)上，一个所述载台组件(100)上放置的待蚀刻产品位于所述对位机构下方的同时，另一个所述载台组件(100)上放置的待蚀刻产品位于所述激光机构的下方。

3.如权利要求1所述的激光直写式成像设备，其特征在于，所述镂空区域(3201)位于所述横梁(320)的中间位置。

4.如权利要求1所述的激光直写式成像设备，其特征在于，所述第二导轨组件包括两个所述第二导轨(630)，两个所述第二导轨(630)分别固定安装于远离所述镂空区域(3201)的所述横梁(320)上，所述镂空区域(3201)的轴线方向平行于所述激光组件(640)的运动方向。

5.如权利要求1所述的激光直写式成像设备，其特征在于，所述对位机构包括第三导轨组件、对位组件(510)和第二安装板(520)，所述对位组件(510)固定安装于所述第二安装板(520)上；所述第三导轨组件包括第三导轨(530)、第三驱动组件和第三滑块，所述第三导轨(530)与第三驱动组件固定安装于所述横梁(320)的侧边上，所述第三滑块与第二安装板(520)固定连接，所述对位组件(510)在所述第三驱动组件的驱动力下沿所述第三导轨(530)方向运动。

6.如权利要求1所述的激光直写式成像设备，其特征在于，所述成像设备本体(1000)还包括真空吸附机构，所述真空吸附机构包括吸附组件、气路组件和真空组件(750)，所述吸附组件固定安装于所述载台组件(100)内，所述真空组件(750)固定安装于所述基座(200)上，所述气路组件的一端固定连通所述真空组件(750)，另一端连通所述吸附组件；所述吸附组件在所述真空组件(750)的作用下吸附所述载台组件(100)表面上待蚀刻产品。