[发明专利]激光直写式成像设备在审
申请号: | 202110121481.1 | 申请日: | 2021-01-28 |
公开(公告)号: | CN113031400A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 魏亚菲;臧杰;熊让安;祝锁;范晓宇;曹葵康;温延培 | 申请(专利权)人: | 苏州天准科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 徐颖聪 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 直写式 成像 设备 | ||
本发明提供一种激光直写式成像设备,该成像设备包括基座、支撑组件、传输机构、对位机构和激光机构;支撑组件包括横梁,横梁上设有镂空区域;该成像设备将激光机构安装于横梁的上的镂空区域,以大幅度减少对位机构到激光机构之间的行程,提高了生产效率,增加产能;因减少了对位机构到激光机构之间的行程,故减小了底座的占用空间即缩小了成像设备的整体尺寸;另外,因将激光机构安装于横梁上的镂空区域,故激光机构的两侧全部暴露在外,为激光机构的组装与调节提高了便利性;采用具有抗负压能力的弹簧管代替小口径的气管,减少使用拖链,使得该设备占用空间小且降低制作成本。
技术领域
本发明涉及曝光设备领域,尤其涉及激光直写式成像设备。
背景技术
激光直写式成像设备是用激光扫描的方式直接将图像在待蚀刻产品(比如: PCB软板)上成像,图像更加精细,待蚀刻产品一般为电路板、网板等。
传统的激光直写式成像设备上的激光机构一般侧挂于横梁上,以对正下方轨道上的待蚀刻产品进行曝光。激光机构侧挂于横梁上且沿横梁方向运动,激光机构自身的重量对横梁造成较大的压力,长时间对整个设备的稳定性造成一定的影响。
发明内容
有鉴于此,本发明提供激光直写式成像设备,该成像设备将激光机构安装于横梁的上表面,提高了整个成像设备的稳定性。
为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:
根据本发明实施例的激光直写式成像设备,包括成像设备本体,所述成像设备本体包括:
基座;
支撑组件,所述支撑组件固定安装于所述基座上;所述支撑组件包括横梁、第一支撑柱和第二支撑柱,所述第一支撑柱与第二支撑柱的一端固定安装于所述基座上,所述第一支撑柱与第二支撑柱的另一端分别固定连接所述横梁的两端,所述横梁位于所述基座的上方;
所述横梁上设有一镂空区域;
传输机构,所述传输机构位于所述横梁的下方,所述传输机构包括第一导轨组件与载台组件,所述第一导轨组件固定安装于所述基座上,所述第一导轨组件包括第一导轨、第一驱动组件和第一滑块;所述第一滑块与载台组件固定连接,所述第一滑块与第一导轨滑动连接,所述载台组件跟随所述第一滑块在所述第一驱动组件的驱动力下沿所述导轨方向做往复运动;
对位机构,所述对位机构安装于所述横梁的侧边,所述对位机构用于对所述载台组件上的待蚀刻产品进行对位;
激光机构,所述激光机构包括第二导轨组件、激光组件和第一安装板,所述激光组件固定安装于所述第一安装板上;所述第二导轨组件包括第二导轨、第二驱动组件和第二滑块,所述第二导轨与第二滑块滑动连接,所述第二导轨与第二驱动组件固定安装于所述横梁上,所述第二滑块与第一安装板固定连接;所述激光组件在所述第二驱动组件的驱动力下在所述镂空区域内沿所述第二导轨方向做往复运动。
优选地,所述成像设备本体至少包括两个传输机构,两个所述传输机构相邻固定安装于所述基座上,一个所述载台组件上放置的待蚀刻产品位于所述对位机构下方的同时,另一个所述载台组件上放置的待蚀刻产品位于所述激光机构的下方。
优选地,所述镂空区域位于所述横梁的中间位置。
优选地,所述第二导轨组件包括两个所述第二导轨,两个所述第二导轨分别固定安装于远离所述镂空区域的所述横梁上,所述镂空区域的轴线方向平行于所述激光组件的运动方向。
优选地,所述对位机构包括第三导轨组件、对位组件和第二安装板,所述对位组件固定安装于所述第二安装板上;所述第三导轨组件包括第三导轨、第三驱动组件和第三滑块,所述第三导轨与第三驱动组件固定安装于所述横梁的侧边上,所述第三滑块与第二安装板固定连接,所述对位组件在所述第三驱动组件的驱动力下沿所述第三导轨方向运动。
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