[发明专利]一种曝光机

权利要求书

1.一种曝光机，其特征在于，包括：

光路系统，所述光路系统包括多个用于对待曝光基板进行曝光的曝光镜头；

分隔腔，所述光路系统位于所述分隔腔中，所述分隔腔设置有进风口和出风口；

空调机，与所述分隔腔的所述进风口通过通风管道连接，所述空调机中安装有温度闭环控制系统，所述温度闭环控制系统用于驱动所述空调机吹出换热气体以控制所述分隔腔内的温度。

2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述分隔腔的腔壁外围由保温隔热材料包裹。

3.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括：

第一冷水机，与所述空调机连接，用于对所述空调机进行降温。

4.根据权利要求3所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括：

变压器和水泵，所述水泵连接所述空调机，用于排出所述空调机产生的冷凝水，所述变压器连接所述空调机，用于给所述空调机提供工作电压。

5.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括：

导流风网，设置于所述分隔腔的所述进风口和所述光路系统之间，用于使得所述空调机吹出的所述换热气体均匀吹向所述光路系统。

6.根据权利要求5所述的曝光机，其特征在于，所述导流风网的形状和结构与所述分隔腔的体积匹配，与所述分隔腔的结构匹配，与所述进风口的形状匹配。

7.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括：

传感器，设置于所述分隔腔内，与所述空调机连接，用于获取所述分隔腔内的温度测量点的实时温度，将所述实施温度反馈给所述空调机的所述温度闭环控制系统，以使得所述温度闭环控制系统驱动所述空调机实时调整所述分隔腔内的温度，从而使得所述分隔腔内的温度处于预设安全阈值范围内。

8.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述空调机的工作参数与所述分隔腔的空间大小相匹配，与所述曝光机温控标准匹配，与所述曝光机预设每小时换气次数匹配。

9.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述通风管道由柔性保温材料制成。

10.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括：

第二水冷机，用于给所述曝光机中所述分隔腔之外的其他零件进行降温。