[发明专利]一种微流控装置及其制造方法

说明书

本发明实施例公开了一种微流控装置及其制造方法，该微流控装置包括：微流控基板，微流控基板包括衬底基板、位于衬底基板上的电极阵列层以及疏水层，电极阵列层包括多个呈阵列排布的电极；微流控结构层，微流控结构层包括至少一个微流控通道；微流控基板用于根据微流控通道对电极施加电压，驱动微流控通道内液滴移动。本发明实施例中，微流控基板控制电极电位以对液滴进行移动控制，无需额外的驱动设备，减小了设备体积，增加了便携性；微流控结构层内设置有微流控通道，可以限定液滴移动路径，对液滴的移动控制操作灵活，还能够防止液滴受到相邻电极串扰，避免液滴移动路径偏移。因此，微流控装置整体实现了集成化，降低了产品成本低。

技术领域

本发明实施例涉及微流控技术，尤其涉及一种微流控装置及其制造方法。

背景技术

微流控芯片有着强大的集成性，处理样本时分析速度快、损耗低、物耗少、污染小，因此，微流控芯片在生物医学研究、药物合成筛选、环境监测与保护、卫生检疫、司法鉴定、生物试剂的检测等众多领域的应用具有极为广阔的前景。

目前，微流控芯片的液滴驱动方式是采用外部驱动泵抽取液滴使其移动，该驱动方式的成本高，体积大，且控制不灵活。

发明内容

本发明实施例提供一种微流控装置及其制造方法，以实现微流控芯片的小体积、低成本和灵活控制。

本发明实施例提供了一种微流控装置，包括：

微流控基板，所述微流控基板包括衬底基板、位于所述衬底基板上的电极阵列层以及疏水层，所述电极阵列层包括多个呈阵列排布的电极；

微流控结构层，所述微流控结构层包括至少一个微流控通道；

所述微流控基板用于根据所述微流控通道对所述电极施加电压，驱动所述微流控通道内液滴移动。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种微流控装置的制造方法，包括：

提供一第一基板，所述第一基板包括衬底基板和位于所述衬底基板上的电极阵列层，所述电极阵列层包括多个呈阵列排布的电极；

在所述电极阵列层上形成第一疏水层和第一微流控结构层，所述第一微流控结构层包括至少一个微流控通道。

本发明实施例中，微流控基板控制电极电位以对液滴进行移动控制，不再需要额外的驱动泵设备，减小了设备体积，增加了使用便携性；微流控基板上的微流控结构层内设置有微流控通道，可以限定液滴移动路径，对液滴的移动控制操作灵活，还能够防止液滴受到相邻电极串扰，避免液滴移动路径偏移。因此，微流控装置整体实现了集成化，降低了产品成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图虽然是本发明的一些具体的实施例，对于本领域的技术人员来说，可以根据本发明的各种实施例所揭示和提示的器件结构，驱动方法和制造方法的基本概念，拓展和延伸到其它的结构和附图，毋庸置疑这些都应该是在本发明的权利要求范围之内。

图1是本发明实施例提供的第一微流控装置的示意图；

图2是微流控基板的示意图；

图3是第一种微流控结构层的示意图；

图4是本发明实施例提供的第二微流控装置的示意图；

图5是本发明实施例提供的第三微流控装置的示意图；

图6是本发明实施例提供的第四微流控装置的示意图；

图7是本发明实施例提供的第五微流控装置的示意图；

图8为异常微流控通道的示意图；