[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，包括：

腔体，包括使激光束透过的光透过部；

工作台，配置在所述腔体的内部且在其上配置被加工体；以及

激光装置，通过所述光透过部向所述被加工体照射所述激光束，

所述激光装置包括：

激光束产生部，生成并输出所述激光束；

光束扫描器，调整所述激光束的输出方向；

扫描透镜部，将从所述光束扫描器输出的激光束聚焦至所述被加工体的预定位置；以及

倾斜提供部，配置在所述光束扫描器与所述扫描透镜部之间，使得所述光束扫描器的垂直光轴与所述扫描透镜部的垂直光轴倾斜第一角度。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

由所述激光束进行加工的所述被加工体的加工区域与所述光透过部在所述被加工体的厚度方向上彼此不重叠。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，还具备：

保护窗部，配置在所述被加工体与所述光透过部之间，且使所述激光束透过，

所述保护窗部在所述被加工体的厚度方向上与所述被加工体的加工区域及所述光透过部重叠。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

在向所述被加工体输出所述激光装置的所述激光束的期间，所述腔体的内部具有真空状态，

所述激光束向所述被加工体入射的入射角度大于20度。

5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述被加工体是包括有机发光元件或无机发光元件的显示面板，

所述激光束照射至所述被加工体的平坦的区域。

6.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述倾斜提供部包括：

第一面，对应于从所述光束扫描器输出所述激光束的所述光束扫描器的光束输出面；以及

第二面，与所述第一面相接，且对应于所述激光束入射至所述扫描透镜部的所述扫描透镜部的光束入射面，

所述第一面与所述第二面形成的角度是所述第一角度。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其中，

所述倾斜提供部还包括：第三面，与所述第一面及所述第二面相接。

8.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述第一角度在10度以上且在45度以下。

9.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述光束扫描器包括：

第一镜，在第一方向上控制所述激光束的输出方向；以及

第二镜，在与所述第一方向交叉的第二方向上控制所述激光束的输出方向。

10.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述扫描透镜部包括多个非远心透镜。