[发明专利]激光加工装置在审
申请号: | 202110136081.8 | 申请日: | 2021-02-01 |
公开(公告)号: | CN113894410A | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 沃罗诺夫·亚历山大;韩圭完;郑星采;金元容;朴成圭 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | B23K26/046 | 分类号: | B23K26/046;B23K26/064;B23K26/082 |
代理公司: | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人: | 朴英淑 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
提供一种在显示面板形成贯通孔时即使利用倾斜的激光束对显示面板进行加工也可以实现均匀的激光束聚焦(focus)于显示面板的斑点的大小的激光加工装置。一实施例中,激光加工装置包括:激光束产生部,生成并输出激光束;光束扫描器,调整所述激光束的输出方向;扫描透镜部,将从所述光束扫描器输出的激光束聚焦至预定位置;以及倾斜提供部,配置在所述光束扫描器与所述扫描透镜部之间,使得所述扫描透镜部的垂直光轴相对于所述光束扫描器的垂直光轴倾斜第一角度。
技术领域
本发明涉及激光装置以及包括其的激光加工装置。
背景技术
随着信息化社会的发展,对于用来显示图像的显示装置的要求正在以各种形态增加。例如,显示装置被适用于如智能电话、数码相机、笔记本电脑、导航仪以及智能电视机这样的各种电子设备中。显示装置可以包括如液晶显示装置(Liquid Crystal DisplayDevice)、场发射显示装置(Field Emission Display Device)、发光显示装置(LightEmitting Display Device)等显示装置。
随着显示装置被适用于各种电子设备,正在要求具有各种功能以及设计的显示装置。例如,发布了如下的显示装置,即,为了扩展显示区域,在显示面板的显示区域配置贯通孔,且在贯通孔配置如相机传感器、红外线传感器这样的光学传感器。
显示面板的贯通孔可以利用输出激光束的激光加工装置来形成。激光加工装置的激光束在形成显示面板的贯通孔时可能会受到由显示面板产生的杂质的影响。
发明内容
本发明要解决的课题是提供一种激光装置,其在显示面板形成贯通孔时即便利用倾斜的激光束加工显示面板也可以实现将激光束聚焦(focus)于显示面板的斑点大小的均匀。
本发明要解决的其他课题是提供一种激光加工装置,其在显示面板形成贯通孔时即便利用倾斜的激光束加工显示面板也可以实现将激光束聚焦(focus)于显示面板的斑点大小的均匀。
本发明的课题并不限于以上所提及的课题,通过以下的记载,本领域技术人员应当可以理解未提及的其他技术课题。
在用于解决所述的课题的一实施例中,激光装置包括:激光束产生部,生成并输出激光束;光束扫描器,调整所述激光束的输出方向;扫描透镜部,将从所述光束扫描器输出的激光束聚焦至预定位置;以及倾斜提供部,配置在所述光束扫描器与所述扫描透镜部之间,使得所述扫描透镜部的垂直光轴相对于所述光束扫描器的垂直光轴倾斜第一角度。
用于解决所述的课题的其他实施例涉及的激光加工装置具备:腔体,包括使激光束透过的光透过部;工作台,配置在所述腔体的内部且在其上配置被加工体;以及激光装置,通过所述光透过部向所述被加工体照射所述激光束。所述激光装置包括:激光束产生部,生成并输出激光束;光束扫描器,调整所述激光束的输出方向;扫描透镜部,将从所述光束扫描器输出的激光束聚焦至预定位置;以及倾斜提供部,配置在所述光束扫描器与所述扫描透镜部之间,使得所述光束扫描器的垂直光轴相对于所述扫描透镜部的垂直光轴倾斜第一角度。
其他实施例的具体事项包括于详细的说明及附图中。
(发明效果)
根据各实施例涉及的激光装置以及包括其的激光加工装置,通过在光束扫描器与扫描透镜部之间配置倾斜提供部,从而光束扫描器的垂直光轴可以相对于被加工体的垂直线倾斜第一角度,但是扫描透镜部相对于被加工体的垂直线不会倾斜第一角度。由此,通过扫描透镜部的各透镜形成的焦点面实质上可以与被加工体相同。因此,被加工体的第一位置和第二位置都与焦点面一致,因而激光束可以在第一位置和第二位置处被聚焦。由此,在第一位置与第二位置可以使激光束的斑点的大小均匀,因此在第一位置和第二位置可以利用激光装置的激光束来对被加工体进行微细加工。即,即使在激光装置向被加工体以预定的入射角度倾斜地提供激光束的情况下,也可以对被加工体进行微细加工。
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