[发明专利]一种使用靶材回收料再造精铟靶材的火法回收精铟工艺

权利要求书

1.一种使用靶材回收料再造精铟靶材的火法回收精铟工艺，其特征在于：包括以下步骤，

1）清洗步骤，回收含铟的靶材边角料或残靶作为铟回收料，以铟回收料做为再造精铟的原材料，选用的铟回收料包含重量百分比大于80%的铟、重量百分比为0-20%的锡和余量杂质，将铟回收料清洗后烘干，

2）破碎步骤，使用鄂破机对烘干后的铟回收料进行破碎，破碎过程将破碎颗粒的颗粒尺寸控制在2-3cm，得到平均颗粒尺寸为2-3cm 的破碎颗粒，

3）加热还原步骤，将破碎颗粒放入加热还原炉中，对加热还原炉进行抽真空，将加热还原炉的温度加热至800-1300℃，持续通入还原性气体，加热还原炉持续泄压使炉内气压保持在限额以下，破碎颗粒中的氧与还原性气体发生氧化还原反应，生成气体和熔融状的铟锡合金，在反应结束后再停止通气和切断电源；

加热还原步骤包括以下子步骤，

3.1）放入步骤，将破碎颗粒放入加热还原炉中，破碎颗粒的堆积密度设置在5500 -6000kg/m³，破碎颗粒在加热还原炉中堆积形成的空隙率设置在16 -26%，破碎颗粒之间的间隙宽度控制在1-5mm；

3.2）抽真空步骤，对加热还原炉进行抽真空，加热还原炉的真空度设置在10-100Pa，

3.3）加热步骤，将加热还原炉内的温度设置在800-1300℃，

3.4）还原步骤，在加热还原炉内持续通入还原性气体，加热还原炉内的破碎颗粒与还原性气体反应，生成气体和铟锡合金，持续泄压使加热还原炉内气压保持在炉内气压限额以下，

3.5）反应结束步骤，加热还原炉内停止产生气体，加热还原炉的炉温下降到160-250℃，得到熔融状的铟锡合金；

4）电解步骤，将铟锡合金倒入阳极板模具中，电解液体系为硝酸铟，在电解后的阳极板中留有纯度在99%以上的海绵状的金属锡，阴极得到铟含量大于99.995%的精铟。

2.根据权利要求1所述的一种使用靶材回收料再造精铟靶材的火法回收精铟工艺，其特征在于：在所述电解步骤中，电流密度设置在55-60A/m²，电压设置在0.18-0.22V。

3.根据权利要求2所述的一种使用靶材回收料再造精铟靶材的火法回收精铟工艺，其特征在于：所述铟回收料包括ITO靶边角料、ITO残靶或被氧化的铟锡合金中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的一种使用靶材回收料再造精铟靶材的火法回收精铟工艺，其特征在于：在所述清洗步骤中，使用溶剂对所述铟回收料的表面进行清洗后烘干。

5.根据权利要求4所述的一种使用靶材回收料再造精铟靶材的火法回收精铟工艺，其特征在于：在破碎步骤中，鄂破机设置有固定鄂板和活动鄂板，固定鄂板和活动鄂板为硬质合金材质，硬质合金的硬度大于铟锡合金的硬度。

6.根据权利要求5所述的一种使用靶材回收料再造精铟靶材的火法回收精铟工艺，其特征在于：所述固定鄂板和所述活动鄂板的硬质合金材质的莫氏硬度大于8级。

7.根据权利要求6所述的一种使用靶材回收料再造精铟靶材的火法回收精铟工艺，其特征在于：在所述加热还原步骤中，所述还原性气体选用氢气、氨气、甲烷或乙烷，或所述还原性气体选用氢气、氨气、甲烷或乙烷中的其中一种与惰性气体混合而成的混合气体。