[发明专利]一种高矫顽力B掺杂FePt薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种高矫顽力B掺杂FePt薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

(1)以Ag基底作为阴极，在含Pt元素的酸或盐的酸性镀液中，通过电沉积得到一层的Pt镀层，记为样品Pt/Ag；

(2)以样品Pt/Ag作为阴极，在含亚铁盐和BH₄^-的碱性镀液中，电沉积得到一层FeB镀层，得到双层膜，记为样品[Pt/FeB]/Ag；

(3)样品[Pt/FeB]/Ag在混合气氛中以400-800℃退火处理1-5h，得到高矫顽力的B掺杂FePt薄膜。

2.根据权利要求1的制备方法，其特征在于，交替重复(1)和(2)的步骤，得到Pt镀层和FeB镀层交替沉积的多层膜。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述含Pt元素的酸或盐的酸性镀液中，包含Pt元素的酸或盐和电解质盐，pH为2.5～3；其中Pt元素的浓度为0.5～2mmol/L，含Pt元素的酸为H₂PtCl₆·6H₂O，含Pt元素的盐为(NH₄)₂PtCl₆、K₂PtCl₆、Na₂PtCl₆中一种或多种；电解质盐的浓度为0.4～1mol/L，电解质盐为钠盐或钾盐。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述含亚铁盐和BH₄^-的碱性镀液包括：0.1～0.2mol/L亚铁盐,1～2mol/L柠檬酸盐，0.5～1mol/L硼酸，0.1～0.2mol/L抗坏血酸，0.1g/L～1.0g/L NaBH₄或KBH₄，pH为9～9.5；所述亚铁盐选自硫酸亚铁铵、氯化亚铁、硫酸亚铁中一种或多种；所述柠檬酸盐选自二水合柠檬酸钠、柠檬酸钠中一种或多种。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，混合气氛为H₂和N₂，氢气含量为3％～30％。

6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)的电流密度为2.8～3.2A/dm²，溶液温度为25℃，电沉积Pt时间为5～36分钟。

7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)的沉积时间为1～15分钟。

8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，电沉积的过程在超声条件下进行的，超声条件为室温，振动频率为60Hz。