[发明专利]一种兼具有盘沿轮廓测量功能的瓷盘移载机构

权利要求书

1.一种兼具有盘沿轮廓测量功能的瓷盘移载机构，其特征在于，包括搬运机器人、安装板、真空吸附单元以及激光镭射测距仪；所述搬运机器人包括有机器人本体和机械手臂；所述安装板与所述机械手臂相固定；所述真空吸附单元、所述激光镭射测距仪均可拆卸地固定于所述安装板上，且相互间隔设定距离。

2.根据权利要求1所述兼具有盘沿轮廓测量功能的瓷盘移载机构，其特征在于，所述安装板为L形板，其由第一分段和第二分段连接而成；所述第一分段、所述第二分段分别用来固定所述真空吸附单元、所述激光镭射测距仪。

3.根据权利要求1-2中任一项所述兼具有盘沿轮廓测量功能的瓷盘移载机构，其特征在于，所述真空吸附单元包括有固定基板、真空吸嘴组件以及直线驱动元件；所述固定基板可拆卸地固定于所述安装板上；所述直线驱动元件可拆卸地固定于所述固定基板上，以驱动所述真空吸嘴组件进行线性位移运动。

4.根据权利要求3所述兼具有盘沿轮廓测量功能的瓷盘移载机构，其特征在于，所述真空吸嘴组件包括有安装基板以及真空吸嘴；所述真空吸嘴的数量至少为3个，均插设于所述安装基板上，且以圆周阵列方式进行排布。

5.根据权利要求3所述兼具有盘沿轮廓测量功能的瓷盘移载机构，其特征在于，所述直线驱动元件为滑台气缸；所述滑台气缸包括有气缸本体和滑移台；所述气缸本体、所述滑移台分别与所述固定基板、所述安装基板直接相固定。

6.根据权利要求3所述兼具有盘沿轮廓测量功能的瓷盘移载机构，其特征在于，所述直线驱动元件为液压缸或直线电机。