[发明专利]脆性材料基板的分割机构在审
申请号: | 202110144259.3 | 申请日: | 2021-02-02 |
公开(公告)号: | CN113321410A | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 黑川正光;植田光寿;高桥英树 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/03 | 分类号: | C03B33/03;C03B33/033;C03B33/037 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘文海 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 脆性 材料 分割 机构 | ||
1.一种脆性材料基板的分割机构,其是将脆性材料基板分割的机构,
所述脆性材料基板的分割机构的特征在于,具备:
固定部,其具有水平的第一上表面;以及
可动部,其在水平面内与所述固定部分离而配置,
所述可动部具有:
顶板,其具有平坦的第二上表面,且与所述固定部一起将脆性材料基板载置固定;以及
四个升降机构,它们沿铅垂方向立起设置于在俯视下成为矩形的各顶点的位置,且分别在从下方支承所述顶板的同时独立地在铅垂方向上进退自如,
通过对所述四个升降机构各自的升降动作进行组合,能够使所述顶板的姿态可变。
2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的分割机构,其特征在于,
将所述第二上表面位于与所述第一上表面同一水平面内时的所述可动部的姿态定义为基准姿态,
所述可动部处于基准姿态时的所述第一上表面和所述第二上表面成为脆性材料基板的载置固定面,
在所述脆性材料基板以使预先确定为直线状的分割预定位置位于所述固定部与所述可动部之间的方式载置固定于所述载置固定面的状态下,所述升降机构进行升降动作,从而将所述脆性材料基板分割。
3.根据权利要求2所述的脆性材料基板的分割机构,其特征在于,
在所述脆性材料基板载置固定于所述载置固定面的状态下,将所述分割预定位置延伸的水平面内的方向设为第一方向,且将在水平面内与所述第一方向正交的方向设为第二方向时,
在所述可动部的所述第一方向上的两端部,分别配置有所述四个升降机构中的各两个,在所述两端部中的每一端部,所述升降机构在所述第二方向上分离而配置。
4.根据权利要求3所述的脆性材料基板的分割机构,其特征在于,
所述脆性材料基板的分割机构还具备轴枕,所述轴枕与所述四个升降机构各自的上端部连结,
所述轴枕与所述顶板连结。
5.根据权利要求4所述的脆性材料基板的分割机构,其特征在于,
所述脆性材料基板的分割机构还具备第一线性引导件,所述第一线性引导件设置于在所述四个升降机构中的在所述第二方向上距所述固定部较远的两个所述升降机构的上端部配备的所述轴枕与所述顶板之间、或者在所述四个升降机构中的在所述第二方向上距所述固定部较近的两个所述升降机构的上端部配备的所述轴枕与所述顶板之间,
所述轴枕对应于所述顶板的倾斜而被沿着所述第一线性引导件引导。
6.根据权利要求4或5所述的脆性材料基板的分割机构,其特征在于,
所述脆性材料基板的分割机构还具备沿所述第二方向延伸的连结板,
在所述四个升降机构中的、所述第一方向上的一端部所具备的两个所述升降机构的上端部配备的所述轴枕与所述连结板连结,
在所述连结板与所述顶板之间、且所述第一方向上的一端部所具备的两个所述升降机构各自的上方的位置,设置有第二线性引导件,
所述连结板对应于所述顶板的倾斜而被沿着所述第二线性引导件引导。
7.根据权利要求3所述的脆性材料基板的分割机构,其特征在于,
在所述第一方向上的两端部,所述四个升降机构中的各两个与沿所述第二方向延伸的连结板连结,
各个所述连结板与滑动件连结,所述滑动件被沿所述第二方向延伸的导轨自如地引导,
所述滑动件对应于所述顶板的倾斜而被沿着所述导轨引导。
8.根据权利要求1至5、7中任一项所述的脆性材料基板的分割机构,其特征在于,
所述脆性材料基板的分割机构还具备夹持构件,所述夹持构件能够将所述脆性材料基板夹持在所述夹持构件与所述固定部之间以及所述夹持构件与所述顶板之间。
9.根据权利要求6所述的脆性材料基板的分割机构,其特征在于,
所述脆性材料基板的分割机构还具备夹持构件,所述夹持构件能够将所述脆性材料基板夹持在所述夹持构件与所述固定部之间以及所述夹持构件与所述顶板之间。
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