[发明专利]脆性材料基板的分割机构

说明书

本发明的课题在于实现与以往相比分割的自由度较高的脆性材料基板的分割机构。将脆性材料基板分割的机构具备：固定部，其具有水平的第一上表面；以及可动部，其在水平面内与固定部分离而配置，可动部具有：顶板，其具有平坦的第二上表面，且与固定部一起将脆性材料基板载置固定；以及四个升降机构，它们沿铅垂方向立起设置于在俯视下成为矩形的各顶点的位置，且分别在从下方支承顶板的同时独立地在铅垂方向上进退自如，通过对四个升降机构各自的升降动作进行组合，能够使顶板的姿态任意可变。

技术领域

本发明涉及将脆性材料基板分割的机构。

背景技术

作为将玻璃基板等脆性材料基板分割的方法，广为人知的有这样的方法：对预先沿着分割预定位置在表面形成有刻划线的基板作用弯曲应力，使裂缝从刻划线(垂直)伸展，由此将该脆性材料基板分割。

作为利用上述方法进行的分割的具体方案，已经公知有这样的装置：将形成有刻划线的脆性材料基板的、夹着该刻划线的两侧分别固定于固定工作台和可动(翘动)工作台，并使可动工作台在与刻划线的延伸方向垂直的面内转动或翘动，由此使裂缝从刻划线伸展，使该脆性材料基板分割(例如，参照专利文献1及专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-177453号公报

专利文献2：日本特开2019-196281号公报

在专利文献1所公开的装置的情况下，可动工作台的动作只是绕一个转动轴的转动，因此在分割时，脆性材料基板仅止于受到绕沿着刻划线的延伸方向的转动轴的力。

另外，在专利文献2所公开的装置的情况下，翘动工作台由在铅垂方向上进退(升降)自如的一个支承轴支承，并且上述翘动工作台与支承轴整体形成为能够沿着倾斜面升降，由此除了在与刻划线的延伸方向垂直的面内的转动动作之外，还能够进行翘动工作台整体的升降动作(沿铅垂方向的变位(shift)动作)。

然而，在任一情况下，作用于脆性材料基板的力均仅止于与刻划线的延伸方向垂直的面内的力。

对此，存在这样的一定需求：通过对脆性材料基板从更多的方向作用力来提高分割的自由度，从而将多个种类的脆性材料基板更适当并且可靠地分割。

因此，需要使可动工作台以更多方式位移或倾斜，但专利文献1及专利文献2所公开的装置均不能进行使可动工作台从刻划线的延伸方向倾斜的动作。

发明内容

发明要解决的课题

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于，实现一种与以往相比分割的自由度较高的脆性材料基板的分割机构。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题，技术方案1的发明是一种脆性材料基板的分割机构，其是将脆性材料基板分割的机构，所述脆性材料基板的分割机构的特征在于，具备：固定部，其具有水平的第一上表面；以及可动部，其在水平面内与所述固定部分离而配置，所述可动部具有：顶板，其具有平坦的第二上表面，且与所述固定部一起将脆性材料基板载置固定；以及四个升降机构，它们沿铅垂方向立起设置于在俯视下成为矩形的各顶点的位置，且分别在从下方支承所述顶板的同时独立地在铅垂方向上进退自如，通过对所述四个升降机构各自的升降动作进行组合，能够使所述顶板的姿态可变。

在技术方案1所记载的分割机构的基础上，技术方案2的发明的特征在于，将所述第二上表面位于与所述第一上表面同一水平面内时的所述可动部的姿态定义为基准姿态，所述可动部处于基准姿态时的所述第一上表面和所述第二上表面成为脆性材料基板的载置固定面，在所述脆性材料基板以使预先确定为直线状的分割预定位置位于所述固定部与所述可动部之间的方式载置固定于所述载置固定面的状态下，所述升降机构进行升降动作，从而将所述脆性材料基板分割。