[发明专利]一种晶圆的手臂夹持机构

权利要求书

1.一种晶圆的手臂夹持机构，其特征在于，包括底盘、安装座、驱动机构、夹持臂、晶圆缓冲模块和第一滑动块，其中，所述底盘的一侧对称地设有两所述夹持臂，两所述夹持臂之间形成一晶圆夹持槽，所述底盘的一侧还设有所述第一滑动块，每一所述夹持臂的一端分别开设有一第一滑槽，所述第一滑动块设于所述第一滑槽内，所述底盘的一侧还设有所述安装座，且所述安装座位于两所述夹持臂的上端，所述安装座内设有两所述驱动机构，每一所述驱动机构可分别驱动一所述夹持臂沿所述第一滑动块的长度方向移动，每一所述夹持臂的内部分别设有一所述晶圆缓冲模块。

2.如权利要求1所述的晶圆的手臂夹持机构，其特征在于，还包括第二滑动块，每一所述夹持臂的一端的上侧分别设有一所述第二滑动块，所述安装座的下端设有第二滑槽，每一所述第二滑动块分别设于所述第二滑槽内。

3.如权利要求1所述的晶圆的手臂夹持机构，其特征在于，每一所述夹持臂上分别开设有一安装槽，且所述安装槽由所述夹持臂的宽度方向的一侧开设至所述夹持臂的宽度方向的另一侧，所述晶圆缓冲模块设置在所述安装槽内。

4.如权利要求1所述的晶圆的手臂夹持机构，其特征在于，还包括销钉，每一所述夹持臂的另一端分别设有一所述销钉，每一所述晶圆缓冲模块分别通过销钉固定在所述安装槽内，且每一所述晶圆缓冲模块均可绕一所述销钉旋转。

5.如权利要求4所述的晶圆的手臂夹持机构，其特征在于，每一所述晶圆缓冲模块均包括：

硬性板，所述硬性板设于所述安装槽内，且所述硬性板的一端通过所述销钉与所述夹持臂连接，所述硬性板的内部为中空结构，所述硬性板上靠近所述晶圆夹持槽的一侧开设有槽口；

橡胶，所述橡胶设于所述硬性板的内部，且所述橡胶的一侧突出于所述槽口；

复位弹簧，所述硬性板的另一端通过一所述复位弹簧与所述安装槽的内壁连接。

6.如权利要求5所述的晶圆的手臂夹持机构，其特征在于，还包括固定块和固定环，其中，所述硬性板的另一端的一侧设有所述固定块，所述固定块上以及所述安装槽内壁上与所述固定队相正对的位置分别设有一所述固定环，所述复位弹簧的两端连接两所述固定环。

7.如权利要求5所述的晶圆的手臂夹持机构，其特征在于，所述橡胶的一侧开设有夹槽。

8.如权利要求5所述的晶圆的手臂夹持机构，其特征在于，还包括限位块，所述硬性板的另一端的另一侧设有一所述限位块。